[发明专利]碲化镉薄膜太阳电池及其制备方法无效
申请号: | 201110228133.0 | 申请日: | 2011-08-10 |
公开(公告)号: | CN102931243A | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 辜琼谊;牛学鹏;杨培 | 申请(专利权)人: | 无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/073;H01L31/18 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 唐立;王忠忠 |
地址: | 214028 中国*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 碲化镉 薄膜 太阳电池 及其 制备 方法 | ||
1.一种碲化镉薄膜太阳电池,其特征在于,所述碲化镉薄膜太阳电池的背接触结构中包括与碲化镉层相接触的CuxS背接触层,其中, 0.88≤x≤2 。
2.如权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳电池,其特征在于,所述背接触结构还包括背电极层、以及设置于所述背电极层与所述CuxS背接触层之间的导电复合层。
3.如权利要求2所述的碲化镉薄膜太阳电池,其特征在于,所述导电复合层为改良性石墨导电膏、氮化钼或者碲化锌。
4.如权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳电池,其特征在于,所述背接触结构还包括背电极层、以及设置于所述背电极层与所述CuxS背接触层之间的半导体复合层。
5.如权利要求4所述的碲化镉薄膜太阳电池,其特征在于,所述半导体复合层为本征碲化锌与掺杂铜的碲化锌的复合层,其中,本征碲化锌与所述CuxS背接触层直接接触。
6.如权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳电池,其特征在于,所述CuxS背接触层为富铜相的硫化铜、Cu1.95S、Cu1.75S或者富硫相的硫化铜。
7.如权利要求1或6所述的碲化镉薄膜太阳电池,其特征在于,所述CuxS背接触层的厚度范围为50纳米至200纳米。
8.如权利要求2所述的碲化镉薄膜太阳电池,其特征在于,所述背电极层为Ni、Ti或者Mo,或者为Al/Cr复合金属层。
9.如权利要求2或8所述的碲化镉薄膜太阳电池,其特征在于,所述背电极层的厚度范围为100纳米至300纳米。
10.一种制备如权利要求1所述碲化镉薄膜太阳电池的方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供已制备形成的CdTe/CdS异质结结构;
在CdTe层上直接沉积CuxS背接触层;以及
沉积形成背电极层;
其中,0.88≤x≤2。
11.如权利要求10所述的方法,其特征在于,在沉积CuxS背接触层步骤中,采用化学气相沉积、真空反应蒸发、溅射、脉冲激光沉积或者化学水浴沉积方法沉积所述CuxS背接触层。
12.如权利要求11所述的方法,其特征在于,沉积CuxS背接触层之后,还包括对所述CuxS背接触层的退火处理步骤。
13.如权利要求12所述的方法,其特征在于,采用化学水浴沉积方法沉积CuxS背接触层时,在所述退火步骤中,退火时间范围为30分钟至90分钟,退火温度范围为150℃至300℃,退火的气氛为氩气或氮气。
14.如权利要求10或11所述的方法,其特征在于,沉积CuxS背接触层步骤之后,还包括步骤:
在所述CuxS背接触层上直接形成导电复合层。
15.如权利要求14所述的方法,其特征在于,所述导电复合层为改良性石墨膏,所述改良性石墨膏通过涂覆混合有Te粉或Cu粉或Ag粉的碳素墨水的浆料并退火处理形成。
16.如权利要求15所述的方法,其特征在于,所述退火处理同时用于对所述CuxS背接触层进行热处理以省去单独对所述CuxS背接触层进行热处理的过程。
17.如权利要求15所述的方法,其特征在于,所述退火处理在退火炉中进行,退火温度范围为200-300℃,退火时间范围为30-60分钟,退火气氛为氩气或者氮气。
18.如权利要求14所述的方法,其特征在于,所述导电复合层为氮化钼层,通过溅射沉积形成所述氮化钼层。
19.如权利要求14所述的方法,其特征在于,所述导电复合层为碲化锌层,通过热蒸发、电子束蒸发或溅射沉积形成所述碲化锌层。
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