[发明专利]基于循环配气装置的太阳能硅片自动分片机及其分片方法有效

专利信息
申请号: 201110229392.5 申请日: 2011-08-11
公开(公告)号: CN102427095A 公开(公告)日: 2012-04-25
发明(设计)人: 王维锐;刘木林;鄢光明 申请(专利权)人: 浙江大学台州研究院
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;B65G47/91
代理公司: 台州市南方商标专利事务所(普通合伙) 33225 代理人: 白家驹
地址: 317600 浙江省台州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 基于 循环 装置 太阳能 硅片 自动 分片 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种基于循环配气装置的太阳能硅片自动分片机,其特征在于:包括进料系统、传动系统、循环配气装置(7),进料系统的一侧设置循环配气装置,循环配气装置的配气轴套(26)连接多个真空发生器(6),每个真空发生器(6)对应一个吸头组件(3),使循环配气装置具备多个工位;

所述传动系统包括两套由同一主动轴带动的链传动装置,一号链传动装置通过循环配气装置的配气轴套(26)带动真空发生器(6)转动,二号链传动装置带动各吸头组件(3)转动;

所述传动系统的上方固定设置有水平传送带组件(8)。

2.根据权利要求1所述的基于循环配气装置的太阳能硅片自动分片机,其特征在于:所述传动系统包括配气轴套传动链轮(25)、二号主动链轮(10)、二号传动链(13)、一号主动链轮(11)、从动链轮(5)、一号传动链(14)、传动电机(9);配气轴套传动链轮(25)固定设置于循环配气装置的配气轴套(26)上,配气轴套传动链轮(25)通过二号传动链(13)连接二号主动链轮(10);二号主动链轮(10)通过主动轴(12)连接传动电机(9);主动轴(12)上还设置有一号主动链轮(11),一号主动链轮(11)通过一号传动链(14)与两个从动链轮(5)连接;其中一个从动链轮(5)设置于另一个从动链轮(5)的正上方,该从动链轮(5)与一号主动链轮(11)水平设置。

3.根据权利要求1所述的基于循环配气装置的太阳能硅片自动分片机,其特征在于:所述进料系统包括进料盒(1)、传动杆(29)、直线电机(15),直线电机(15)的输出轴连接传动杆(29)的一端,传动杆(29)的另一端固定连接进料盒(1);所述进料盒(1)垂直设置。

4.根据权利要求3所述的基于循环配气装置的太阳能硅片自动分片机,其特征在于:所述立板与进料盒(1)之间设置有多个导杆(30);多个导杆(30)与传动杆(29)平行设置。

5.根据权利要求1所述的基于循环配气装置的太阳能硅片自动分片机,其特征在于:所述循环配气装置(7)的配气轴套(26)的内腔活动设置有配气固定轴(22),配气固定轴(22)的尾部设置有进气接头(28);配气固定轴(22)的轴体上设置有扇环形的型腔,型腔与进气接头(28)连通;配气轴套(26)上沿周向设置有多个直角接头(21),型腔与直角接头(21)连通;每个直角接头(21)分别连接所述真空发生器(6)。

6.根据权利要求1所述的基于循环配气装置的太阳能硅片自动分片机,其特征在于:所述吸头组件(3)包括吸盘固定座(18),吸盘固定座18上固定设置有两个吸盘(16),两个吸盘(16)分别连接吸盘固定杆17;其中一个吸盘固定杆(17)通过直接头(19)连接管(20)的一端;另一个吸盘固定杆(17)通过直角接头(21)连接另一管(20)的一端;管(20)的另一端用于与所述真空发生器(6)连接。

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