[发明专利]图像传感器有效

专利信息
申请号: 201110231127.0 申请日: 2011-08-12
公开(公告)号: CN102315237A 公开(公告)日: 2012-01-11
发明(设计)人: 强文华;汪辉;陈杰;汪宁;田犁;尚岩峰 申请(专利权)人: 上海中科高等研究院
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H04N5/378
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 丁纪铁
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 图像传感器
【权利要求书】:

1.一种图像传感器,形成于带有绝缘埋层的半导体衬底上,所述衬底自上而下包括顶层半导体层、绝缘层、支撑衬底,其特征在于:所述图像传感器的像素单元电路包括感光结构和像素读出电路,所述感光结构和所述像素读出电路都形成于所述顶层半导体层上、且所述像素读出电路具有间隔的形成于所述感光结构旁侧;

所述感光结构包括横向排列且呈包围式结构的四个掺杂区,各相邻所述掺杂区之间形成接触连接;

各所述掺杂区由内到外依次为第一掺杂区、第二掺杂区、第三掺杂区和第四掺杂区;所述第一掺杂区和所述第三掺杂区都为第一半导体类型掺杂,所述第二掺杂区和所述第四掺杂区都为第二半导体类型掺杂。

2.如权利要求1所述的图像传感器,其特征在于:在横向平面上,所述感光结构的各所述掺杂区的几何形状是规则几何形状、或者不规则几何形状。

3.如权利要求2所述的图像传感器,其特征在于:在横向平面上,所述感光结构的各所述掺杂区的几何形状为长方形、圆形或正多边形。

4.如权利要求1所述的图像传感器,其特征在于:所述感光结构的所述包围式结构为全包围式结构、或者半包围式结构。

5.如权利要求1所述的图像传感器,其特征在于:所述像素读出电路为3T型结构的CMOS像素读出电路、或4T型结构的CMOS像素读出电路。

6.如权利要求1所述的图像传感器,其特征在于:所述像素读出电路和所述感光结构之间设置有浅沟槽隔离结构。

7.如权利要求1-6中任意一项所述的图像传感器,其特征在于:所述第一半导体类型为P型,所述第二半导体类型为N型;所述第二掺杂区为光吸收层,所述第三掺杂区和所述第四掺杂区形成雪崩倍增区。

8.如权利要求1-6中任意一项所述的图像传感器,其特征在于:所述第一半导体类型为N型,所述第二半导体类型为P型,所述第三掺杂区为光吸收层,所述第一掺杂区和所述第二掺杂区形成雪崩倍增区。

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