[发明专利]图像传感器有效
申请号: | 201110231127.0 | 申请日: | 2011-08-12 |
公开(公告)号: | CN102315237A | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 强文华;汪辉;陈杰;汪宁;田犁;尚岩峰 | 申请(专利权)人: | 上海中科高等研究院 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H04N5/378 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁纪铁 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 图像传感器 | ||
1.一种图像传感器,形成于带有绝缘埋层的半导体衬底上,所述衬底自上而下包括顶层半导体层、绝缘层、支撑衬底,其特征在于:所述图像传感器的像素单元电路包括感光结构和像素读出电路,所述感光结构和所述像素读出电路都形成于所述顶层半导体层上、且所述像素读出电路具有间隔的形成于所述感光结构旁侧;
所述感光结构包括横向排列且呈包围式结构的四个掺杂区,各相邻所述掺杂区之间形成接触连接;
各所述掺杂区由内到外依次为第一掺杂区、第二掺杂区、第三掺杂区和第四掺杂区;所述第一掺杂区和所述第三掺杂区都为第一半导体类型掺杂,所述第二掺杂区和所述第四掺杂区都为第二半导体类型掺杂。
2.如权利要求1所述的图像传感器,其特征在于:在横向平面上,所述感光结构的各所述掺杂区的几何形状是规则几何形状、或者不规则几何形状。
3.如权利要求2所述的图像传感器,其特征在于:在横向平面上,所述感光结构的各所述掺杂区的几何形状为长方形、圆形或正多边形。
4.如权利要求1所述的图像传感器,其特征在于:所述感光结构的所述包围式结构为全包围式结构、或者半包围式结构。
5.如权利要求1所述的图像传感器,其特征在于:所述像素读出电路为3T型结构的CMOS像素读出电路、或4T型结构的CMOS像素读出电路。
6.如权利要求1所述的图像传感器,其特征在于:所述像素读出电路和所述感光结构之间设置有浅沟槽隔离结构。
7.如权利要求1-6中任意一项所述的图像传感器,其特征在于:所述第一半导体类型为P型,所述第二半导体类型为N型;所述第二掺杂区为光吸收层,所述第三掺杂区和所述第四掺杂区形成雪崩倍增区。
8.如权利要求1-6中任意一项所述的图像传感器,其特征在于:所述第一半导体类型为N型,所述第二半导体类型为P型,所述第三掺杂区为光吸收层,所述第一掺杂区和所述第二掺杂区形成雪崩倍增区。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的