[发明专利]滤光器、滤光器模块、光谱测量仪及光设备

权利要求书

1.一种滤光器，其特征在于，包括：

第一基板；

第二基板，与所述第一基板相对；

第一光学膜，设置于所述第一基板；以及

第二光学膜，设置于所述第二基板，所述第二光学膜与所述第一光学膜相对，

所述第一光学膜的根据光的反射波段中的各波长的光的反射率而确定的反射特性、和所述第二光学膜的根据所述反射波段中的各波长的光的反射率而确定的反射特性不同。

2.根据权利要求1所述的滤光器，其特征在于，

所述第一光学膜的与峰值的光的反射率对应的第一中心波长与所述第二光学膜的与峰值的光的反射率对应的第二中心波长被设定为不同的值。

3.根据权利要求2所述的滤光器，其特征在于，

在将所述第一光学膜的所述第一中心波长设为λ1、将所述第二光学膜的所述第二中心波长设为λ2、将所述滤光器的光谱带中的中心波长设为λ3时，λ1＜λ3＜λ2成立。

4.根据权利要求3所述的滤光器，其特征在于，

在将所述第一光学膜的在所述滤光器的光谱带中的反射率的最低值设为α1、将所述第二光学膜的在所述滤光器的光谱带中的反射率的最低值设为α2时，α1·α2··0.64成立。

5.根据权利要求1所述的滤光器，其特征在于，

在所述第一光学膜的中心波长和所述第二光学膜的中心波长一致且将一致的所述中心波长设为共同的中心波长时，所述第一光学膜的在所述共同的中心波长的光的反射率被设定为第一反射率，所述第二光学膜的在所述共同的中心波长的光的反射率被设定为与所述第一反射率不同的第二反射率。

6.根据权利要求2至5中的任一项所述的滤光器，其特征在于，

所述第一光学膜是将第一材料膜和第二材料膜作为一组的层层叠m对而构成的第一层叠膜，m是大于等于1的整数，

所述第二光学膜是将所述第一材料膜和所述第二材料膜作为一组的层层叠n对而构成的第二层叠膜，n是大于等于1的整数且n≠m。

7.根据权利要求2至5中的任一项所述的滤光器，其特征在于，

所述第一光学膜是将第一材料膜和第二材料膜作为一组的层层叠m对而构成的第一层叠膜，m是大于等于1的整数，

所述第二光学膜是将所述第一材料膜和所述第二材料膜作为一组的层层叠m对而构成的第二层叠膜，所述第二层叠膜中的所述一组的层的膜厚与所述第一光学膜中的所述一组的层的膜厚不同。

8.根据权利要求2至5中的任一项所述的滤光器，其特征在于，

所述第一光学膜是将第一材料膜和第二材料膜作为一组的层层叠m对而构成的第一层叠膜，m是大于等于1的整数，

所述第二光学膜是将所述第一材料膜和所述第二材料膜作为一组的层层叠n对而构成的第二层叠膜，所述第二层叠膜中的所述一组的层的膜厚与所述第一光学膜中的所述一组的层的膜厚不同，n是大于等于1的整数且n≠m。

9.根据权利要求2至5中的任一项所述的滤光器，其特征在于，

构成所述第一光学膜的材料和构成所述第二光学膜的材料不同。

10.根据权利要求2至5中的任一项所述的滤光器，其特征在于，

所述第一光学膜的构造和所述第二光学膜的构造不同。

11.根据权利要求2至10中的任一项所述的滤光器，其特征在于，

所述滤光器是可变间距标准具滤光器，

所述第一基板是具有第一电极的固定基板，

所述第二基板是具有第二电极的可动基板，

通过在所述第一电极和所述第二电极之间产生的静电力，可变地控制所述第一光学膜和所述第二光学膜之间的间距，从而在期望波段内转换光谱带。

12.根据权利要求11所述的滤光器，其特征在于，

在从所述第一基板的基板厚度方向观察的俯视时，所述第一电极形成在所述第一光学膜的周围，在从所述第二基板的基板厚度方向观察的俯视时，所述第二电极形成在所述第二光学膜的周围。

13.根据权利要求11或12所述的滤光器，其特征在于，

设置于作为所述可动基板的所述第二基板的所述第二光学膜的膜厚比设置于作为所述固定基板的所述第一基板的所述第一光学膜的膜厚薄。