[发明专利]硅片抛光大盘

权利要求书

1.硅片抛光大盘，其特征在于，所述大盘表面设置有流通槽；所述大盘表面设置有液体出口；液体出口与流通槽连通；所述液体出口位于距圆心三分之一至三分之二半径之间；液体自液体出口进入流通槽内后分别向大盘圆心方向和大盘边缘方向流动；大盘表面还设置有液体进口，液体进口与流通槽连通；液体自液体出口进入流通槽后，再经液体进口排出。

2.根据权利要求1所述的硅片抛光大盘，其特征在于，所述流通槽沿大盘径向延伸并沿圆周方向回转设置。

3.根据权利要求2所述的硅片抛光大盘，其特征在于，所述流通槽自大盘边缘沿大盘径向延伸至圆心处并沿圆周方向回转设置。

4.根据权利要求3所述的硅片抛光大盘，其特征在于，每个流通槽内设置一个液体出口和第一液体进口、第二液体进口，第一液体进口位于圆心附近；第二液体进口位于边缘附近；液体自液体出口进入流通槽内分为两路，一路向圆心方向流动后进入第一液体进口；另一路向边缘方向流动后进入第二液体进口。

5.根据权利要求4所述的硅片抛光大盘，其特征在于，流通槽数目为3-6个，沿大盘圆周方向分布。

6.根据权利要求1所述的硅片抛光大盘，其特征在于，所述流通槽包括一个以上的内圈流通槽和一个以上的外圈流通槽；外圈流通槽设置于内圈流通槽外围；大盘表面设置有液体出口；所述液体出口位于距圆心三分之一至三分之二半径之间；每个液体出口同时与一个内圈流通槽和一个外圈流通槽连通；大盘表面设置有第三液体进口，第三液体进口与内圈流通槽或外圈流通槽连通或者同时与内圈流通槽和外圈流通槽连通。

7.根据权利要求6所述的硅片抛光大盘，其特征在于，每个内圈流通槽内设置有一个第三液体进口；还包括一个第四液体进口，每个外圈流通槽均与第四液体进口连通。

8.根据权利要求6或7所述的硅片抛光大盘，其特征在于，所述的内圈流通槽数目为3-6个；所述外圈流通槽数目为3-6个。

9.根据权利要求6所述的硅片抛光大盘，其特征在于，所述内圈流通槽沿大盘径向延伸并沿圆周方向回旋设置；所述外圈流通槽沿大盘径向延伸并沿圆周方向回旋设置。

10.根据权利要求9所述的硅片抛光大盘，其特征在于，每个液体出口同时与一个内圈流通槽和一个外圈流通槽连通；每个内圈流通槽内设置有一个第三液体进口；第四液体进口设置与大盘圆心处，每个外圈流通槽分别通过第一导流槽与液体出口连通、通过第二导流槽与第四液体进口连通。