[发明专利]硅片边缘倒角方法无效
| 申请号： | 201110231821.2 | 申请日： | 2011-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN102343538A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 沈辉辉;赵林;黄春峰 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 边缘 倒角 方法 | ||
【权利要求书】：
1.硅片边缘倒角方法，使用倒角砂轮磨削硅片边缘进行倒角，其特征在于，采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度为27～35mm/12～18s；第4圈倒角速度为20-26mm/10～14s。
2.根据权利要求1所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，倒角砂轮磨削硅片之前，使用油石修整倒角砂轮槽口。
3.根据权利要求2所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，使用油石修整金刚石倒角砂轮时，油石与倒角砂轮边缘切线之间的夹角为45°～60°。
4.根据权利要求3所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，对倒角砂轮修整金刚石倒角砂轮时，油石去除量为0.5～1.5cm。
5.根据权利要求1所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，使用Y型水枪分别向倒角砂轮和硅片边缘喷射磨削液。
6.根据权利要求4所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，所述水枪喷射的磨削液的压力为2.5～3.5KG/cm2左右。
7.根据权利要求1所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，所述倒角砂轮为R型11度砂轮。
8.根据权利要求1所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，倒角面幅≥600um。
9.根据权利要求1所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，所述硅片为重掺硼硅片，所述倒角砂轮为R型、11度砂轮，砂轮槽口为0.17R。
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