[发明专利]新型单晶炉热场无效
| 申请号： | 201110231905.6 | 申请日： | 2011-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN102345160A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 尚海波;韩建超;沈杨宇 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 新型 单晶炉热场 | ||
【权利要求书】：
1.新型单晶炉热场，包括保温筒，保温筒内设置有加热器，加热器围绕石墨坩埚设置，石墨坩埚内设置有石英坩埚；其特征在于，所述加热器与电极通过螺丝连接，螺丝平行于炉筒轴向设置。
2.根据权利要求1所述的新型单晶炉热场，其特征在于，所述的加热器上方设置有隔热挡板。
3.根据权利要求2所述的新型单晶炉热场，其特征在于，所述保温筒包括上保温筒和下保温筒，上保温筒与下保温筒连接，所述的上保温筒内壁比下保温筒内壁更靠近石墨坩埚。。
4.根据权利要求3所述的新型单晶炉热场，其特征在于，所述保温筒内设置有隔热挡板，所述隔热挡板设置于上保温筒与下保温筒之间。
5.根据权利要求1所述的新型单晶炉热场，其特征在于，所述加热器下方设置有保温挡圈。
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