[发明专利]透明电极发光二极管及其制备方法

权利要求书

1.一种透明电极发光二极管，包括氮化镓外延片，其特征在于，所述氮化镓外延片的P型氮化镓层(5)上覆盖有透明导电膜层，所述透明导电膜层为钛/氧化锌或氧化钛/氧化锌复合透明导电膜；

所述钛/氧化锌复合透明导电膜，包括：

钛层(6)，覆盖在所述P型氮化镓层(5)上；

氧化锌层(7)，覆盖在所述钛层(6)上；

所述氧化钛/氧化锌复合透明导电膜，包括：

氧化钛层(6’)，覆盖在所述P型氮化镓层(5)上；

氧化锌层(7)，覆盖在所述氧化钛层(6’)上。

2.根据权利要求1所述的透明电极发光二极管，其特征在于，所述钛/氧化锌复合透明导电膜中钛层(6)的厚度为10～40埃；氧化锌层(7)的厚度为1500～3000埃。

3.根据权利要求1所述的透明电极发光二极管，其特征在于，所述氧化钛/氧化锌复合透明导电膜中氧化钛层(6’)的厚度为50～90埃；氧化锌层(7)的厚度为2000～4000埃。

4.根据权利要求1所述的透明电极发光二极管，其特征在于，所述钛层(6)或氧化钛层(6’)上设有多个第一通孔；所述氧化锌层(7)设有多个第二通孔。

5.根据权利要求4所述的透明电极发光二极管，其特征在于，所述第一通孔和所述第二通孔相互交错设置。

6.根据权利要求4或5所述的透明电极发光二极管，其特征在于，所述第一通孔的孔径为0.5微米～3微米；所述第二通孔的孔径为3微米～6微米。

7.一种透明电极发光二极管的制备方法，包括氮化镓外延片的制备，其特征在于，所述氮化镓外延片的制备包括如下步骤：

生长P型氮化镓层(5)；

在所述P型氮化镓层(5)上制备钛层(6)或氧化钛层(6’)；

在所述钛层(6)或氧化钛层(6’)上制备氧化锌层(7)，形成钛/氧化锌或氧化钛/氧化锌复合透明导电膜。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述在P型氮化镓层(5)上制备钛层(6)的步骤进一步包括：

在常温，大于10^-7托的真空度下，真空蒸镀形成10～40埃的所述钛层(6)；形成钛层(6)后，升温至450℃～500℃，在氮气和氧气的体积比为10∶40的气氛下，热处理所述钛层(6)形成表面保护层；

在所述钛层(6)上制备氧化锌层(7)的步骤进一步包括：

将温度调节至250℃～350℃，在氧气流量为3sccm～8sccm，真空度大于10^-6托下，真空蒸镀形成1500～3000埃所述氧化锌层(7)；

形成所述氧化锌层(7)后，将温度调节至500℃～600℃；在氦气的气氛下，热处理所述氧化锌层(7)形成表面保护层。

9.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述在P型氮化镓层(5)上制备氧化钛层(6’)的步骤进一步包括：

在常温，在氧气流量为2sccm～8sccm，大于10^-7托的真空度下，真空蒸镀形成50～90埃所述氧化钛层(6’)；

形成氧化钛层(6’)后，升温至450℃～500℃，在氮气和氧气的体积比为10∶40的气氛下，热处理所述氧化钛层(6’)形成表面保护层；

在所述氧化钛层(6’)上制备氧化锌层(7)的步骤进一步包括：

将温度调节至200℃～250℃，在氧气流量为5sccm～10sccm，真空度大于10^-6托下，真空蒸镀形成2000～4000埃的所述氧化锌层(7)；

形成所述氧化锌层(7)后，将温度调节至600℃～700℃；在氦气的气氛下，热处理所述氧化锌层(7)形成保护表面层。

10.根据权利要求8或9所述的制备方法，其特征在于，进一步包括如下步骤：在所述钛层(6)或氧化钛层(6’)上形成第一通孔；在所述氧化锌层(7)上形成第二通孔，

所述第一通孔是在热处理所述钛层(6)或所述氧化钛层(6’)形成表面保护层后，在酸性环境下湿法腐蚀所述钛层(6)或氧化钛层(6’)而形成的；

所述第二通孔是在热处理氧化锌层(7)形成表面保护层后，在酸性环境下湿法腐蚀所述氧化锌层(7)而形成的。

11.根据权利要求10所述的制备方法，其特征在于，所述酸性环境为浓度为36％～38％盐酸和浓度为65～68％的硝酸按照体积比3∶1混合所形成的酸性环境。