[发明专利]针尖位置检测装置和探针装置

权利要求书

1.一种针尖位置检测装置，其特征在于：

该针尖位置检测装置在每次使被检查体与多个探针电接触进行所 述被检查体的电特性检查时，用于检测所述多个探针的针尖的位置，

所述针尖位置检测装置具有检测所述多个探针的针尖的传感器 部，并且，

所述传感器部具有传感器部主体、能够升降地设置在所述传感器 部主体上的接触体、以及对所述接触体施加规定压力，使所述接触体 与所述传感器部主体离开规定距离的压力施加单元，

而且，所述传感器部主体具有在由所述压力施加单元施加的所述 规定压力下弹性地支撑所述接触体的弹力支撑机构，

在所述接触体上安装有软质部件，

所述压力施加单元能够将所述规定压力切换为第一压力和比所述 第一压力高的第二压力，

所述接触体通过在所述第一压力保持为恒定的状态下与所述多个 探针接触向所述传感器部主体一侧下降来检测所述多个探针的针尖位 置，在所述第二压力下不下降且保持在初期位置时将所述多个探针的 针迹转写到所述软质部件。

2.如权利要求1所述的针尖位置检测装置，其特征在于：

所述传感器部具有用于检测所述接触体的现在位置的位移传感 器。

3.一种探针装置，其特征在于：

该探针装置包括：载置被检查体的能够移动的载置台；配置在该 载置台的上方的多个探针；和设置在所述载置台上用来检测这些探针 的针尖位置的针尖位置检测装置，

所述针尖位置检测装置具有检测所述多个探针的针尖的传感器 部，并且，

所述传感器部具有传感器部主体、能够升降地设置在所述传感器 部主体上的接触体、以及对所述接触体施加规定压力，使所述接触体 与所述传感器部主体离开规定距离的压力施加单元，

而且，所述传感器部主体具有在由所述压力施加单元施加的所述 规定压力下弹性地支撑所述接触体的弹力支撑机构，

在所述接触体上安装有软质部件，

所述压力施加单元能够将所述规定压力切换为第一压力和比所述 第一压力高的第二压力，

所述接触体通过在所述第一压力保持为恒定的状态下与所述多个 探针接触向所述传感器部主体一侧下降来检测所述多个探针的针尖位 置，在所述第二压力下不下降且保持在初期位置时将所述多个探针的 针迹转写到所述软质部件。

4.如权利要求3所述的探针装置，其特征在于：

所述传感器部具有用于检测所述接触体的现在位置的位移传感 器。

5.如权利要求3或4所述的探针装置，其特征在于：

所述软质部件能够自由装卸。

6.如权利要求3或4所述的探针装置，其特征在于：

还具有能够升降地支撑所述接触体的升降驱动机构。

7.如权利要求5所述的探针装置，其特征在于：

还具有能够升降地支撑所述接触体的升降驱动机构。