[发明专利]制备多孔氧化铝薄膜的装置和方法

权利要求书

1.一种制备多孔氧化铝薄膜的装置，其中，该装置包括：有机玻璃基板(1)，该有机玻璃基板(1)在相邻的第一表面(12)和第二表面(13)的拐角处具有凹陷部(2)，且所述有机玻璃基板(1)具有与所述凹陷部(2)相通的通孔(11)；有机玻璃挡板(3)，该有机玻璃挡板(3)贴合在所述有机玻璃基板(1)的所述第一表面(12)上并在其中间具有通孔(31)；模板(4)，该模板(4)具有至少一个贯穿该模板(4)厚度方向的通孔(41)且可活动地位于所述凹槽(2)内；以及固定件(5)，该固定件(5)与通孔(11)螺合，且在长度方向的长度要长于通孔(11)的孔深度。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，该装置还包括有机玻璃垫板(6)，该有机玻璃垫板(6)位于模板(4)与所述第一表面(12)相对的凹槽(2)内表面之间。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，模板(4)上的通孔(41)为圆形、矩形或三角形中的一种或多种。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，模板(4)上的通孔(41)为圆形，且排列成阵列。

5.根据权利要求4所述的装置，其中，所述圆形的直径为1-20cm。

6.根据权利要求3所述的装置，其中，模板(4)上的通孔(41)为矩形，且排列成阵列。

7.根据权利要求6所述的装置，其中，所述矩形的边长为1-20cm。

8.根据权利要求3所述的装置，其中，模板(4)上的通孔(41)为正三角形，且排列成阵列。

9.根据权利要求8所述的装置，其中，所述正三角形的边长为1-20cm。

10.一种多孔氧化铝薄膜的制备方法，该方法包括将铝片(8)依次进行以下的步骤：一次阳极氧化步骤、腐蚀一次氧化膜步骤、二次阳极氧化步骤、剥离铝基底步骤以及去阻挡层步骤，其特征在于，在所述一次阳极氧化以及二次阳极氧化步骤中，使用权利要求1-9中任意一项所述的装置，通过固定件(5)将铝片和模板(4)固定在凹槽(2)内，使铝片(8)、模板(4)与有机玻璃挡板(3)紧密贴合，将该装置放入酸性电解液中，以石墨为阴极，所述铝片为阳极进行电解，所述电解在温度为-20～0℃下进行。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述电解在温度为-20～-5℃下进行。

12.根据权利要求10所述的方法，其中，所述电解液的液面高于模板(4)上的通孔(41)且低于所述第二表面(13)。

13.根据权利要求10-12中任意一项所述的方法，所述酸性电解液为草酸、磷酸、硫酸中的一种或多种的水溶液；所述电解的电压高于40V。