[发明专利]正型光敏树脂组合物、利用其制造的光敏树脂层、和包含该光敏树脂层的半导体器件

权利要求书

1.一种正型光敏树脂组合物，包括：

(A)包括含有由以下化学式1表示的重复单元和由以下化学式2表示的重复单元、并在至少一个末端上具有热聚合官能团的第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体；

(B)光敏重氮醌化合物；

(C)硅烷化合物；

(D)酚化合物；以及

(E)溶剂：

[化学式1]

[化学式2]

在化学式1和2中，

X¹在每个重复单元中相同或不同，并且各自独立地为取代或未取代的C6至C30芳香族有机基团、取代或未取代的四价至六价的C1至C30脂肪族有机基团、或者取代或未取代的四价至六价的C3至C30脂环族有机基团，

X²在每个重复单元中相同或不同，并且各自独立地为由以下化学式3表示的官能团，以及

Y¹和Y²相同或不同，并且各自独立地为取代或未取代的C6至C30芳香族有机基团、取代或未取代的二价至六价的C1至C30脂肪族有机基团、或者取代或未取代的二价至六价的C3至C30脂环族有机基团，

[化学式3]

在化学式3中，

Z¹在每个重复单元中相同或不同，并且各自独立地为单键、-O-、-COO-、-OCO-、-NH-、-CONH-、取代或未取代的C1至C15亚烷基、取代或未取代的C2至C15亚烯基、或者取代或未取代的C2至C15亚炔基，

G¹在每个重复单元中相同或不同，并且各自独立地为单键、取代或未取代的C6至C30芳香族有机基团、取代或未取代的二价至六价的C3至C30脂环族有机基团、或者取代或未取代的二价至六价的C2至C30杂环基团，

R¹在每个重复单元中相同或不同，并且各自独立地为氢、氟、羟基、硫醇基、取代或未取代的C1至C30羧基、或者取代或未取代的C1至C30脂肪族有机基团，

R²在每个重复单元中相同或不同，并且各自独立地为氢、取代或未取代的C1至C30烷基、取代或未取代的C1至C30羧基、羟基、或硫醇基，

n₁为1至5的整数，以及

n₂为0至3的整数。

2.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中由化学式3表示的官能团包括由以下化学式6至13表示的官能团，

[化学式6]  [化学式7]  [化学式8]  [化学式9]

[化学式10]  [化学式11]  [化学式12]  [化学式13]

在化学式6至13中，

R⁶、R⁷、R⁹、R¹¹、R¹³、R¹⁵和R¹⁷在每个重复单元中相同或不同，并且各自独立地为氢、氟、羟基、硫醇基、取代或未取代的C1至C30羧基、或者取代或未取代的C1至C30脂肪族有机基团，

R⁸、R¹⁰、R¹²、R¹⁴、R¹⁶、R¹⁸、R¹⁹和R²⁰在每个重复单元中相同或不同，并且各自独立地为氢、取代或未取代的C1至C30烷基、取代或未取代的C1至C30羧基、羟基、或硫醇基，

n₉、n₁₁和n₁₃各自独立地为1至5的整数，以及

n₆、n₇、n₈、n₁₀、n₁₂、n₁₄、n₁₅和n₁₆各自独立地为0至3的整数。

3.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中所述第一聚苯并噁唑前体包括摩尔比为约60∶40至约95∶5的由化学式1表示的重复单元和由化学式2表示的重复单元。