[发明专利]容器保管设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种容器保管设备，其设有运送用于收容基板的容器的运送机构，和保管由该运送机构运送的容器的容器保管部。

背景技术

在上述这种容器保管设备中，例如设有运送机构，以从容器中取出基板，在进行相对于基板的处理的多个处理装置之间运送容器。容器保管部是为了暂时保管向处理装置运送的容器或者为了预先保管处理装置的处理结束而向设备的外部出库的容器等而设置的，构成为在与运送机构之间自由收受（即交接）容器。

在该容器保管设备中，以往存在设有在上下方向和水平方向上排列多个地配置了自由保管容器的容器收纳部的保管架，该保管架作为容器保管部构成的容器保管设备（例如参照日本特开2001-338971号公报）。在该文献所记载的设备中，保管架构成为设置在地面上的固定式，运送机构构成为在与固定状态的多个容器收纳部之间收受容器。

而且，作为其它的容器保管设备，存在容器保管部以沿着运送机构的移动路径并列的状态设有多个的容器保管设备（例如参照日本特开2009-253162号公报）。在该文献所记载的设备中，容器保管部具备以固定状态设置的固定框体，和在保管容器的保管位置以及在与运送机构之间收受容器的收受位置之间相对于固定框体移动自如地设置的容器支撑体。在运送机构与容器保管部之间收受容器之际，使位于保管位置的容器支撑体从保管位置向收受位置移动，运送机构在与位于收受位置的容器支撑体之间收受容器，当该收受结束时，使容器支撑体从收受位置返回保管位置，

如上所述，作为容器保管部，存在日本特开2001-338971号中固定状态的容器保管部，和日本特开2009-253162号中在保管位置与收受位置之间移动自如的容器保管部，在现有的容器保管设备中，通常，作为容器保管部，设有固定状态的容器保管部和在保管位置与收受位置之间移动自如的容器保管部双方。运送机构构成为相对于固定状态的容器保管部移动自如，在与固定状态的容器保管部之间自由收受容器，并且相对于在保管位置与收受位置之间移动自如的容器保管部也移动自如，在从保管位置移动到收受位置的容器保管部之间自由收受容器。

在此，为了防止在容器内的基板（例如导体晶片）的表面上形成空气中的氧而产生的氧化膜，进行使氮或氩等惰性气体，或者清洁干燥空气（Clean Dry Air）充满容器内的空间。因此，在日本特开2001-338971号所记载的设备中，设有相对于保管在固定状态的容器保管部的容器供给惰性气体的气体供给机构。在容器上设有用于向内部供给氮气的供给口，和排出容器内部含氧空气的排气口。气体供给机构从保管在保管架上的容器的供给口供给惰性气体，进行与内部的空气的交换，使惰性气体充满容器内。

这样，作为向容器内供给惰性气体的部位，考虑利用容器保管部。但是，如日本特开2001-338971号所记载的那样，相对于固定状态的容器保管部设有气体供给机构，如日本特开2009-253162号所记载的那样，相对于在保管位置与收受位置之间移动自如的容器保管部未设有气体供给机构，不进行使惰性气体充满容器内的空间。因此，以往以来，对于需要惰性气体的填充的容器，不向在保管位置与收受位置之间移动自如的容器保管部运送，而由运送机构运送到能够向容器内供给惰性气体的固定状态的容器保管部，进行使惰性气体充满容器内的空间。

但是，由于要在地面上确保实际上直接有助于基板的生产的处理装置等其它装置的设置空间，所以难以在处理装置的附近设置多个保管架。因此，当使向容器内供给惰性气体的部位仅仅是固定状态的容器保管部时，从处理装置的处理结束到为了保管而运送机构将容器运送到容器保管部的距离加长，耗费了运送机构的运送能力，存在不能够有效地利用运送机构的运送能力的问题。

而且，在保管位置与收受位置之间移动自如的容器保管部与固定状态的容器保管部相比设置空间小，能够配置在存在比较大的空间的天花板一侧。因此，最近也考虑取代固定状态的容器保管部或者省略固定状态的容器保管部，而设置多个在保管位置与收受位置之间移动自如的容器保管部那样的设备。在这种设备中，由于能够向容器内供给惰性气体的固定状态的容器保管部的数量减少，所以即使在保管位置与收受位置之间移动自如的容器保管部中，也有望能够向容器内供给惰性气体。