[发明专利]一种用于激光加工的旋转窗片装置

权利要求书

1.一种用于激光加工的旋转窗片装置，其特征在于，隔离罩的窗片固定在隔离罩支撑件的一边，隔离罩支撑件固定在隔离罩支撑件环形壁顶端，隔离罩支撑件环形壁由轴承部件支撑在加热器的隔热材料层外圆周壁上；晶圆片置于加热片台上。

2.根据权利要求1所述用于激光加工的旋转窗片装置，其特征在于，所述窗片的尺寸只是覆盖晶圆片的一部分，隔离罩放置在片台之上，通过轴承与片台接触，并且可由外部电机带动，围绕晶圆片中心旋转，随隔离罩整体转动，当退火激光束在晶圆片表面做扫描时，窗片会及时转动到正在和将要进行激光作用的区域上方，因此并不妨碍激光对于晶圆片表面的退火。

3.根据权利要求1所述用于激光加工的旋转窗片装置，其特征在于，所述隔离罩的支撑件及隔离罩支撑件环形壁均为不透明的，用金属或包括陶瓷在内的非金属材料制造。

4.根据权利要求1所述用于激光加工的旋转窗片装置，其特征在于，所述窗片为透明材料制成，隔离罩窗片制作成为圆形，直径略大于晶圆片的半径，即通过旋转，可使激光能够透过的区域覆盖全部的晶圆片表面。

5.根据权利要求1所述的窗片的旋转，其特征在于，是在计算机程序的控制下，使得片台相对于激光光束的扫描移动和窗片旋转运动两者相协调的，这里，片台相对于激光束的扫描移动将携带窗片离开光束位置，而窗片本身运动又使得窗片旋转回到激光束的下方。