[发明专利]一种大视场折反射投影物镜有效
| 申请号： | 201110241768.4 | 申请日： | 2011-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN102955234A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 武珩;黄玲 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B17/08 | 分类号： | G02B17/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 视场 反射 投影 物镜 | ||
1.一种大视场折反射投影物镜，其特征在于包括：
一第一光学镜组，其中光学元件均为透镜，镜组的光焦度为正；
一第二光学镜组，其中至少包括两个反射镜以及三个透镜，镜组光焦度为正；
其中，所述第一第二光学镜组的光学元件均同轴，且所述两个反射镜位于光路的最后，将光路折返，以缩短光程；
其中，所述大视场折反射投影物镜放大倍率大于1。
2.根据权利要求1所述的大视场折反射投影物镜，其特征在于所述第一光学镜组包含两个子透镜组，第一子透镜组由至少一片正透镜与至少一片负透镜组成，光焦度为正；第二子透镜组包含至少两片透镜；其中，所述第一子透镜组包含至少一片正透镜由低色散玻璃构成，此处低色散玻璃指阿贝数大于65的材料；所述第二子透镜组包含至少一片负透镜由高色散玻璃构成，此处高色散玻璃指阿贝数小于45的材料。
3.根据权利要求1所述的大视场折反射投影物镜，其特征在于所述第二光学镜组包含一孔径光阑，位于第一反射镜上或其附近；所述至少一片负透镜位于所述孔径光阑及所述第一反射镜附近。
4.根据权利要求1所述的大视场折反射投影物镜，其特征在于第二反射镜与所述第二光学镜组的一片透镜在同一个镜片上。
5.根据权利要求1所述的大视场折反射投影物镜，其特征在于所述反射镜为非球面反射镜。
6.根据权利要求1所述的大视场折反射投影物镜，其特征在于所述投影物镜形成的视场的长边与短边的比小于10。
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