[发明专利]光学检测装置以及具有光学检测装置的阵列测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种测试和测量玻璃面板的光学检测装置，以及一种具有所述光学检测装置的阵列测试装置。

背景技术

一般来说，平板显示器(FPD)是比具有布劳恩管(Braun Tube)的电视机或显示器更轻更薄的图像显示设备。液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)是已开发并使用的平板显示器的代表性实例。

这些FPD中的LCD是以向排列为矩阵形状的液晶单元独立地提供基于图像信息的数据信号来控制液晶单元的透光性的方式，来显示期望图像的图像显示器。LCD薄且轻，而且还具有包括功耗低和操作电压低在内的许多其它优点，因此被广泛地使用。在典型用在这种LCD中的液晶面板的制造过程中，测试具有薄膜晶体管(TFT)和像素电极的基板(下文中称为“玻璃面板”)是否有缺陷的操作，是通过例如检查栅极线或数据线是否断开或者检查像素单元是否显色不佳来实现的。

典型地，阵列测试装置用于测试玻璃面板。阵列测试装置包括测试玻璃面板的测试单元、将玻璃面板加载到测试单元上的加载单元、以及从测试单元卸载玻璃面板的卸载单元。

此外，测试单元包括光学检测装置，所述光学检测装置检测玻璃面板的外观缺陷，诸如玻璃面板P上所形成的电路图案中的缺陷或表面缺陷。光学检测装置包括具有多个透镜的光学系统、以及拍摄经过光学系统的玻璃面板图像的摄像单元。

优选的是，光学检测装置配置为使得光学系统的放大率可以在尽可能大的范围内变化，以便能够以希望的分辨率检测玻璃面板。具体而言，为了找到待检测玻璃面板整个区域中的希望部分、并放大所述希望部分以便能以高分辨率检测所述希望部分，需要不仅以低放大率而且以高放大率将玻璃面板投射到摄像单元的光学系统。为此，可以利用将面向玻璃面板放置的物镜更换成另一个物镜的方法、或利用将放置在物镜与摄像单元之间的镜筒透镜更换成另一个镜筒透镜的方法。然而，这些方法具有的缺点是连接至物镜或镜筒透镜的驱动单元的结构复杂。此外，驱动单元操作时会产生外来杂质，污染光学系统或玻璃面板。

发明内容

因此，本发明针对以上在现有技术中产生的问题，并且本发明的目的是提供一种光学检测装置，所述光学检测装置可以简化用于调整光学系统放大率的结构，并且防止在调整光学系统放大率时产生外来杂质，从而防止外来杂质污染光学系统或玻璃面板；以及本发明还提供一种具有所述光学检测装置的阵列测试装置。

为了实现以上的目的，一方面，本发明提供一种光学检测装置，包括：物镜，其设置为面向玻璃面板；多个镜筒透镜，经过物镜的光进入所述镜筒透镜，所述镜筒透镜具有不同的放大率；摄像单元，其拍摄经过镜筒透镜之一的光的图像；以及切换单元，其在光进入镜筒透镜所沿的路径之间选择性地切换光的路径，以使经过物镜的光进入镜筒透镜中选定的一个。

另一方面，本发明提供一种光学检测装置，包括；物镜，其设置为面向玻璃面板；多个镜筒透镜，经过物镜的光进入所述多个镜筒透镜，所述镜筒透镜具有不同的放大率；摄像单元，其拍摄经过镜筒透镜的多条光线中的一条光线的图像；以及切换单元，其在所述多条光线进入摄像单元所沿的路径之间切换光的路径，以使经过镜筒透镜中选定的一个镜筒透镜的光进入摄像单元。

在根据本发明的光学检测装置中，可以通过移动阻光构件的简单操作来控制进入摄像单元的光的放大率。因此，与被迫使用另一个物镜或镜筒透镜替换原物镜或镜筒透镜来控制图像放大率的常规光学检测装置相比，可以简化光学检测装置的构造，并且可以为控制图像放大率的操作提供便利。

此外，根据本发明的光学检测装置可以包括多个透光变换单元，每个透光变换单元在被供电时进入能够使光透过所述透光转换单元的第一状态，而在供电中断时进入阻止光透过所述透光变换单元的第二状态。在此情况下，可以通过为从这些透光变换单元中选定的一个透光变换单元供电而中断对其余透光变换单元的供电，容易地控制摄像单元所拍摄的图像的放大率。因此，不需要必需移动部件来控制摄像单元所拍摄的图像的放大率的结构，因此，防止由于部件的移动或用于移动部件的装置的操作而产生外来杂质，从而防止外来杂质污染光学系统或玻璃面板。

附图说明

由以下结合附图的详细描述，可以更加清晰地理解本发明前述的和其它的目的、特征和优点，其中：

图1是示出根据本发明的具有光学检测装置的阵列测试装置的立体图；

图2是示出根据本发明第一实施方式的光学检测装置的立体图；

图3是图2的光学检测装置的示意图；