[发明专利]喷砂切削加工方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种喷砂切削加工方法，且更具体而言，是关于一种适于自板状工件切除部分及在板状工件上形成通孔的喷砂切削加工方法。

应注意，在本发明中，术语通「孔」亦指代「凹槽」。

背景技术

一般而言，通过切削加工来执行以下种类的处理：

切除(分割)用于移动电话的显示屏幕中的防护玻璃罩；切穿装配于液晶显示屏幕或其类似者上的触控式屏幕的薄片玻璃；自板状工件(诸如其它玻璃、陶瓷、金属、硅晶片或其类似者)切除部分；及在此工件上形成孔或凹槽。

此切削加工的实例包括使用以高速度旋转的磨轮所执行的切除或制孔(在其之后为修整处理)、使用碳化物钻头或金刚石钻头所进行的制孔，及其类似。

然而，此些处理方法不适于处理具有相对大面积的待处理表面。因而，为了改良生产力，亦执行适于针对相对大面积的处理的喷砂处理。

在通过如上文所描述的喷砂来执行前述分割、制孔或其类似的状况下，在喷砂之前先将被称为具有图案的「抗蚀剂」的抗喷砂保护性薄膜形成于不在工件的表面上进行切削加工的部分(在下文中被称为「无切削加工部分」)上以保护无切削加工部分。

在待处理工件的数目相对低的状况下，通过将抗蚀剂形成于无切削加工部分上进行一程序，且可将由具有对应于待进行切削加工的部分的开孔或凹槽的金属板、陶瓷板、玻璃板、树脂薄膜或其类似者制成的抗蚀剂固定或接合至每一工件的表面。然而，在将处理用于移动电话的大量防护玻璃罩或其类似者的前述状况下，通过使用感旋光性树脂的微影将抗蚀剂(光阻)形成于每一工件上。

然而，经由以下步骤而达成通过微影的前述抗蚀剂形成：

通过诸如使工件的整个正表面与感旋光性树脂薄膜进行层压的操作将感旋光性树脂附着至工件的整个正表面；在感旋光性树脂上置放光罩，在光罩中形成对应于曝光图案的开口；接着使用诸如紫外线辐射器件或其类似的光辐射器件而用光来辐照感旋光性树脂，从而将感旋光性树脂固化于待不进行切削加工的部分中；通过诸如将工件浸没于清洁贮槽中的操作移除感旋光性树脂的未经固化部分；及其后使用干燥器来干燥工件。

如上文所描述，在通过微影的抗蚀剂形成中，将感旋光性树脂附着至整个工件，且接着用洗涤水来清洁未经曝光部分且将未经曝光部分连同洗涤水一起予以废弃。因而，在未用作抗蚀剂的情况下被废弃的感旋光性树脂的使用量较大。因此，通过微影的上述抗蚀剂形成未有效率地使用资源，且是不经济的。

又，通过前述方法的抗蚀剂形成需要光罩的置放、用于将工件的整个表面曝光至光的大型光辐射器件、用于移除不必要树脂的在曝光之后的清洁、在清洁之后的干燥步骤，及其类似者。因而，需要大量步骤以获得抗喷砂抗蚀剂。另外，亦有必要制备用于启用此等步骤的设备(诸如用于置放光罩的器件、光源、清洁贮槽及干燥器)，且有必要确保用于安装此等设备的宽安装空间。因此，需要许多初期投资。

为了解决通过光微影的抗蚀剂形成中的此些问题，已提议一种用于在不使用光微影的情况下形成抗蚀剂的方法，其中通过喷墨印刷而根据无切削加工部分的图案将含有碱溶性可固化树脂的油墨施配至工件的表面，且固化含有碱溶性可固化树脂的油墨以形成抗喷砂抗蚀剂(日本专利特许公开申请案第2008-265224号)。

在前述′265224中所描述的方法中，通过喷墨印刷将含有碱溶性可固化树脂的油墨仅沉积于工件上的所需部分上。因而，在抗蚀剂形成中不使用过量树脂。另外，无需光罩的置放、用于移除未经曝光过量树脂的清洁，及在清洁之后的干燥。结果，可极大地减少用于获得抗喷砂抗蚀剂的步骤的数目，且用于置放光罩的器件及清洁贮槽随着步骤的数目减少而变得不必要。又，亦可小型化光辐射器件及其类似者。因此，可获得可使初期投资及其类似者低的优点。

然而，抗喷砂抗蚀剂需要具有甚至在研磨剂以高速度碰撞工件时仍足以保留在工件的表面上且因此在工件上的切削加工完成以前保护工件的表面免受研磨剂的切削加工的强度。

另外，为了获得此抗喷砂性，前述′265224中所描述的发明具有对将被用以获得抗喷砂抗蚀剂的油墨的物理属性及其类似者的限制。具体而言，例如，该发明使用具有在预定范围内的重量平均分子量的碱溶性可固化树脂(日本专利特许公开申请案第2008-265224号的第[0023]段)。此外，为了获得抗喷砂性，需要抗蚀剂薄膜的大厚度。在不能于单次涂覆中获得抗蚀剂薄膜的所需厚度的状况下，将油墨涂覆达多次(如上文的′265224的[0023])。归因于此情形及其类似者，抗蚀剂形成花费长时间。