[发明专利]结构制造方法和结构

说明书

技术领域

本公开涉及通过层叠膜状材料来制造三维结构的方法并且涉及结构。

背景技术

在层叠式的立体光刻处理中，例如，存在液体表面调节法，其中使用光固化树脂，并且在对于每层利用玻璃板来调节树脂液体的液体表面的同时，利用透过玻璃板的光照射液体表面，由此形成具有极精确的膜厚的造型体。

然而在实际上，随着成型体的面积(沿着平面方向观察的面积)增加，由于固化而引起的、光固化树脂沿着厚度方向的收缩量变大，这引起了这样的问题：根据树脂的种类，在平面中引起约数十个百分比的膜厚分布。此外，也产生了固化树脂与玻璃板之间的粘合由于树脂的收缩而很强的问题，并且因此难以执行将固化的树脂从玻璃板剥离来进行液体表面调节的处理(剥离处理)。

鉴于此，提出了将形成为膜形状的光敏材料进行层叠以对物体造型的膜层叠法。在膜层叠法中，膜材料的使用消除了调节液体表面的必要性。因此，不引起上述问题。此外，膜材料的处理比液体材料更容易，并且显著地减少了清洁剂的使用量，这在安全和健康方面是有利的。

应当注意，例如，日本专利申请公报No.平7-227909公开了层叠光敏膜材料的造型法。

发明内容

附带地，在对树脂材料进行曝光后，有必要移除未曝光部分(在负性树脂的情况下)来执行显影。在树脂材料是液体的情况下，容易利用清洁剂来移除要被移除的部分(下文中称作移除目标部分)。然而，在膜层叠法中，因为膜材料是固态或半固态，所以存在移除目标部分难以被移除的问题。

特别地，难以移除在具有狭窄的宽度以及高的高宽比的凹槽或孔中的移除目标部分。在这种情况下，存在将胶带手动地按压到造型体上以移除残留在凹槽或孔中的移除目标部分的方法。然而，通过这种方法，胶带留下痕迹。此外，执行手动操作，这导致了差的生产率。

考虑到上述情况，期望提供一种结构制造方法并且提供通过结构制造法制造的结构，该方法具有能够在膜层叠法中、在利用能量束选择性地照射之后容易地移除膜的移除目标部分的技术。

根据本公开的实施例，提供了一种包括在基础材料上层叠第一膜的结构制造方法，该方法包括在基础材料上层叠第一膜。

根据基础材料上的第一膜的表面的位置，利用能量束选择性地照射第一膜以在第一膜上形成图案的潜像。

在第一膜的表面上层叠第二膜。

将显影剂提供给所述第二膜，并且将第一膜的、选择性被移除的移除目标部分连同第二膜一起移除，由此对图案进行显影。

通过向第二膜提供显影剂，第一膜的移除目标部分与第二膜一同被膨润化，使得能够容易地将膨润化的移除目标部分与第二膜一同移除。因此，可以形成高精确度的图案。

通过一个接一个地使用多个第一膜来重复在基础材料上层叠第一膜的步骤。在这种情况下，在利用能量束至少照射最后层叠的第一膜之后，对于多个第一膜一同执行显影。因此，没有必要对于多个第一膜一个接一个地执行显影，这可以显著地减小制造时间段。多个第一膜可以被能量束一同照射或者可以被能量束一个接一个地照射。

第一膜和第二膜由相同材料制成。通过这种结构，没有必要对于第一膜和第二膜使用由不同材料制造的膜，因此可以削减成本。此外，在实现使用该制造方法的制造设备的情况下，仅使用一个膜供应机构，使得可以简化制造设备的结构。

结构制造方法还包括在层叠第二膜的步骤之后并且在显影步骤之前，在基础材料上执行第一膜和第二膜的加压去沫。因此，可以增加第二膜与其下方的第一膜之间的粘合力，并且将膜更加物理地(机械地)结合，由此使得容易在显影步骤中整体移除这两个膜。

根据本公开的另一个实施例，提供了一种根据上述制造方法制造的结构。

如上所述，根据本公开的实施例，在膜层叠法中，在利用能量束选择性地照射之后，可以容易地移除膜的移除目标部分。

根据以下如附图所示的、本发明的最佳实施例的详细描述，本发明的这些和其他的目的、特征和优点将会变得更加清楚。

附图说明

图1A-1C的图以顺序次序示出了根据本公开的实施例的制造结构(包括造型体)的方法；

图2A-2C的图示出了图1中示出的制造方法之后的处理；

图3的照片示出了通过根据本实施例的结构制造方法的分辨率改善的结果，并且是其中形成分辨率测试图的结构的平面图。

图4是通过相比较的制造方法制造的结构的平面照片；并且

图5A-5C的图以顺序次序示出了相比较的制造方法。

具体实施方式