[发明专利]玻璃基板缺陷检查装置以及玻璃基板缺陷检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃基板缺陷检查装置以及玻璃基板缺陷检查方法，与能够高精度地进行检查的玻璃基板缺陷检查装置以及玻璃基板缺陷检查方法有关。

背景技术

液晶显示面板或者太阳能电池面板的制造是利用光刻法技术等在玻璃基板上形成图案来进行。此时，如果存在玻璃基板表面的损伤或者异物等缺陷，则不能良好地形成图案，成为产品不良的原因。因此，一直以来，使用缺陷检查装置来进行玻璃基板表面损伤或者异物等的缺陷检查。

为了实施缺陷检查，有必要将玻璃基板搬运到缺陷检查装置来进行检查。以往，使用机器人或者辊式输送机等来搬运，但是在搬运时，机器人的吸附垫片、辊式输送机的辊所使用的材料附着在玻璃基板上，导致损伤或者异物缺陷。因此，在专利文献1(日本特开2006-188313号公报)中，作为非接触地搬运玻璃基板的技术记载了如下结构：吸附玻璃基板端部并保持，使玻璃基板气悬浮来搬运玻璃基板。另外，在专利文献2(日本特开平9-257642号公报)中记载了玻璃基板上的损伤或者异物的检查方法。

对于上述通过气悬浮来搬运玻璃基板的方式，存在如下问题：由于搬运时的惯性，会产生玻璃基板前端部跳起等，由此失去搬运方向上的平坦性，检查精度不高。随着近期玻璃基板变薄，问题愈加明显。

专利文献1中虽然公开了搬运玻璃基板并在停止后进行处理，但是没有认识到搬运过程中进行检查时的上述问题，更没有公开针对问题的解决方案。另外，专利文献2中虽然公开了光学式的检查装置，但是没有认识到搬运过程中进行检查的上述问课，也没有公开解决方案。

发明内容

本发明鉴于上述课题，目的在于提供能够确保玻璃基板在搬运方向的平坦性、高精度地进行检查的玻璃基板缺陷检查装置或者玻璃基板缺陷检查方法。

为了达成上述目的，本发明至少具有如下特征。

本发明的第一方案的特征是，在通过空气产生悬浮力来使玻璃基板悬浮，将玻璃基板向不存在上述悬浮力的检查区域搬运，在上述检查区域内对上述玻璃基板进行摄像并进行检查的玻璃基板缺陷检查装置或者检查方法中，降低上述检查区域内的上述玻璃基板搬运方向的端部的跳起导致的位移量，进行上述检查。

另外，本发明的第二方案的特征是，如下进行所述降低：测定所述检查区域内的所述玻璃基板的所述位移量，基于所述位移量测定结果，使进行所述摄像的摄像单元移动。

并且，本发明的第三方案的特征是，预先设定所述检查区域内的所述玻璃基板的搬运速度的速度模式，基于所述预先设定的所述加速度来检查所述玻璃基板。

并且，本发明的第四方案的特征是，检查所述玻璃基板内的气泡、所述玻璃基板表面存在的损伤的至少一种。

并且，本发明的第五方案的特征是，所述位移量测定单元为非接触式激光位移仪。

并且，本发明的第六方案的特征是，所述检查以如下方法进行：在所述进行搬运的搬运装置的下部设置对所述玻璃基板进行照明的照明单元，在所述搬运装置的上部设置所述进行摄像的摄像单元。

本发明的效果如下。

根据本发明，能够提供可确保玻璃基板在搬运方向的平坦性、高精度地进行检查的玻璃基板缺陷检查装置或者玻璃基板缺陷检查方法。

附图说明

图1是表示玻璃基板缺陷检查装置的第一实施方式的块图。

图2是表示对本发明玻璃基板缺陷检查装置的第一实施方式的搬运部从上部进行观察得到的概略结构的图。

图3是表示精密悬浮载物台和高悬浮部载物台的结构的图。

图4是表示离开精密悬浮载物台端面的位置上玻璃基板前端位移量的测定结果的图。

图5是表示本发明玻璃基板缺陷检查装置的第一实施方式的检查部的结构的图。

图6是表示在一台玻璃基板检查装置中确保玻璃基板平坦性的本发明第二实施方式的控制方法。

图中：