[发明专利]无焊接柱状绝缘瓷多级降压收集极的装配及热挤压方法有效

专利信息
申请号: 201110245311.0 申请日: 2011-08-25
公开(公告)号: CN102956417A 公开(公告)日: 2013-03-06
发明(设计)人: 马天军;赵丽;唐伯俊;邓峰;吕艳杰;刘胜英;郁素德;胡京军;王鑫 申请(专利权)人: 中国科学院电子学研究所
主分类号: H01J9/18 分类号: H01J9/18
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 焊接 柱状 绝缘 多级 降压 收集 装配 挤压 方法
【权利要求书】:

1.一种无焊接柱状绝缘瓷多级降压收集极的装配及热挤压方法,其特征在于,包括步骤:

a)制备高精度装配模具用于陶瓷柱与各个电极之间的装配及定位:该模具采用分体式卡槽结构,沿着内圆的相切线切割出用于固定圆柱形陶瓷柱的槽;

b)装配前,各模具、电极和使用的工具均须经过丙酮和超声波清洗至少三分钟,确保清洁,对收集极无污染,陶瓷柱须经过氢炉烘烤,烘烤过程采用缓慢升温至600℃,保温5分钟,而后缓慢降温至室温;

c)陶瓷柱与各个电极之间的装配及定位:

c1、首先,取两个对称的半圆形模具,分别将几十根陶瓷柱带有窄平面槽的一侧均朝向圆心,在每个半圆形模具中定位装配后,用固定模具锁定当前陶瓷柱方向;

c2、而后再将各级电极分层卡在陶瓷柱的窄平面槽中;

c3、最后将两个分体的半圆形模具按卡槽合模在一起,成一整体,完成多级降压收集极内部组件的装配及定位;

d)制备热挤压模具:该热挤压模具为一套燕尾槽形挤压模具,包括陶瓷柱和电极装配模具、收集极外筒固定模具、挤压推套模具;

e)热挤压工艺在氢气保护下进行,当加热温度为600℃时,迅速将c)步中装配于模具中的陶瓷柱和电极用挤压推套推入收集极外筒中;

f)在氢气保护下降温,待温度低于50℃时,取出收集极,装配完毕。

2.如权利要求1所述的收集极的装配及热挤压方法,其特征在于,所述b)步中,缓慢升温或降温的速率≤20℃/min。

3.如权利要求1所述的收集极的装配及热挤压方法,其特征在于,所述d)步中,通过使用配合间隙在0.02mm以内的燕尾槽确保各装配模具、挤压模具的中心均在一条轴线上,且同心度在0.02mm以内。

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