[发明专利]去除器件上的碱性溶液的方法及设备无效
| 申请号： | 201110246139.0 | 申请日： | 2011-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN102954676A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 高琦;蔡淘璞;唐伟荣;赵玉林 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;F26B21/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 杜娟娟;王忠忠 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 去除 器件 碱性 溶液 方法 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种在湿制程中利用风刀去除器件上的碱性溶液的方法，所述方法包括将压缩空气送入风刀，由风刀向器件排出空气，其特征在于，在所述压缩空气进入风刀之前，处理所述压缩空气使其到达预设温度。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预设温度在40°C到50°C之间。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预设温度为45°C。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述器件为晶片、电子电路器件。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述晶片为硅片。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述压缩空气进入风刀之前，加热所述压缩空气使其到达预设温度。
7.一种在湿制程中去除器件上的碱性溶液的设备，所述设备包括具有风刀管和进气接头的风刀，其特征在于，所述设备还包括在压缩空气进入风刀之前处理所述压缩空气使其到达预设温度的空气温度调节器。
8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述预设温度在40°C到50°C之间。
9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述预设温度为45°C。
10.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述器件为晶片、电子电路器件。
11.根据权利要求10所述的设备，其特征在于，所述晶片为硅片。
12.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述空气温度调节器为空气加热器。
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