[发明专利]化学气相沉积法涂层装置

权利要求书

1.化学气相沉积法涂层装置，包括反应炉（1），其特征在于：反应炉（1）内设有支撑筒（3），支撑筒（3）上端设有排气帽（2），支撑筒（3）内从上到下依次为沉积区（4）、气体分配区（5）和预热区（6）；沉积区（4）内：设有若干托盘（41），托盘（41）上设有若干通气孔Ⅰ（42）；气体分配区（5）内：支架Ⅰ（54）固定挡板（53），挡板（53）上端安装至少三层隔板（51），支架Ⅱ（52）固定隔板（51），隔板（51）上设有若干通气孔Ⅱ（55）；预热区（6）内：安装若干层预热板（63），进气管（61）的出口端与气体分配区（5）相通，支撑筒（3）在预热区部位的下端设有尾气入口（62），预热区（6）的下端设有尾气出口（64）。

2.如权利要求1所述的化学气相沉积法涂层装置，其特征在于：在气体分配区（5）内：不同层隔板（51）上的通气孔Ⅱ（55）的孔径相同或不同。

3.如权利要求2所述的化学气相沉积法涂层装置，其特征在于：在气体分配区（5）内：从最下层隔板向最上层隔板，不同层隔板（51）上的通气孔Ⅱ（55）的孔径依次增加。

4.如权利要求1、2或3所述的化学气相沉积法涂层装置，其特征在于：设有加热炉（7），反应炉（1）置于加热炉（7）内。

5.如权利要求4所述的化学气相沉积法涂层装置，其特征在于：加热炉（7）分成若干段加热区，每段加热区由接线柱（71）、加热装置（73）和热电偶（72）组成。

6.如权利要求4所述的化学气相沉积法涂层装置，其特征在于：加热炉（7）内从内到外依次设有绝缘隔离层（74）、保温层Ⅰ（75）和保温层Ⅱ（76）。

7.如权利要求6所述的化学气相沉积法涂层装置，其特征在于：加热炉（7）分成若干段加热区，每段加热区由接线柱（71）、加热装置（73）和热电偶（72）组成。