[发明专利]多级差分抽超高真空样品传递机构

权利要求书

1.多级差分抽超高真空样品传递机构，由差分抽机构和传样杆驱动器组成，其特征是：差分抽机构是腔体内通过密封圈隔断成2－3个空间，每个空间有独立的真空获得机构和检测机构，一级差分抽空间与传样杆驱动器固定连接，从传样杆驱动器端至超高真空腔体端，各差分抽空间的真空获得能力依次增强，最高级差分抽空间与超高真空腔体固定连接，传样杆驱动器的传样杆插装在差分抽腔室内，由传样杆驱动机构驱动。

2.根据权利要求1所述的多级差分抽超高真空样品传递机构，其特征是：所述传样杆采用空心与实心结合的传样杆，传样杆实心部分上带有样品存储狭缝，实心部分两端传样杆的采用空心结构。

3.根据权利要求1所述的多级差分抽超高真空样品传递机构，其特征是：所述一级差分抽空间的真空获得通过一个机械泵获得。

4.根据权利要求1所述的多级差分抽超高真空样品传递机构，其特征是：所述除第一级外的差分抽空间的真空通过分子泵和机械泵组合获得。

5.根据权利要求1所述的多级差分抽超高真空样品传递机构，其特征是：所述各差分抽之间的密封圈采用U形密封圈。