[发明专利]多通道光纤表面等离子体波共振传感器

权利要求书

1.一种多通道光纤表面等离子体波共振传感器，包括表面等离子体波共振探测光纤，其特征在于，所述探测光纤的包层外围设有第一探测通道，所述第一探测通道包括第一空气通孔、第一金属膜层、第一传感层，所述第一空气通孔两端分别位于探测光纤两端，所述第一金属膜层涂覆于所述包层之上，所述第一传感层位于所述第一金属膜层之上，所述第一传感层的传感材料与第一待测参量相匹配。

2.根据权利要求1所述的多通道光纤表面等离子体波共振传感器，其特征在于，所述探测光纤的包层外围设有第二探测通道，所述第二探测通道包括第二空气通孔、第二金属膜层、第二传感层，所述第二空气通孔两端分别位于探测光纤两端，所述第二金属膜层涂覆于所述包层之上，所述第二传感层位于所述第二金属膜层之上，所述第二传感层的传感材料与第二待测参量相匹配；所述第二金属膜层、第二传感层之间涂有高折射率介质薄膜。

3.根据权利要求2所述的多通道光纤表面等离子体波共振传感器，其特征在于，所述第一探测通道、第二探测通道的数量为一个或多个。

4.根据权利要求3所述的多通道光纤表面等离子体波共振传感器，其特征在于，所述包层沉积厚度为1~2μm。

5.根据权利要求4所述的多通道光纤表面等离子体波共振传感器，其特征在于，所述第一、第二金属膜分别为厚度20~90nm的金或银膜。

6.根据权利要求5所述的多通道光纤表面等离子体波共振传感器，其特征在于，所述高折射率介质薄膜厚度为20~90nm。