[发明专利]Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法

权利要求书

1.Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜，其特征在于，该反射镜由硅片或玻璃的基底(1)、打底层(2)及Mg/Mo/SiC周期多层膜(6)构成，所述的Mg/Mo/SiC周期多层膜(6)由多层厚度恒定的Mg膜(3)、Mo膜(4)及SiC膜(5)周期排列组成。

2.根据权利要求1所述的Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜，其特征在于，所述的硅片为超光滑的晶向为(100)的单晶硅片。

3.根据权利要求1所述的Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜，其特征在于，所述的打底层(2)镀制在基底(1)上，打底层(2)为厚度2-3纳米的SiC。

4.根据权利要求1所述的Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜，其特征在于，所述的Mg/Mo/SiC周期多层膜(6)镀制在打底层(2)上，每个周期自下而上镀制的第一层为Mg膜层，第二层为Mo膜层，最后一层为SiC膜层，周期数为30-40，Mg/Mo/SiC多层膜总厚度为450-640纳米。

5.根据权利要求1所述的Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜，其特征在于，所述的Mg膜层(3)的厚度为9-11纳米Mo膜层(4)的厚度为1-1.5纳米；SiC膜层(5)的厚度为3-4.5纳米。

6.如权利要求1所述的Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜的制作方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

1)在超光滑的硅片或玻璃基底(1)上镀制厚度为2-3纳米的SiC作为打底层(2)；

2)在SiC的打底层(2)上镀制Mg/Mo/SiC周期多层膜(6)，镀制每个周期时，镀制顺序依次为Mg，Mo，SiC，完成30-40周期的镀制，即可得到Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜。

7.根据权利要求6所述的Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜的制作方法，其特征在于，所述的打底层(2)及Mg/Mo/SiC周期多层膜(6)均采用直流磁控溅射方法进行镀制。

8.根据权利要求6所述的Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜的制作方法，其特征在于，所述的打底层(2)及Mg/Mo/SiC周期多层膜(6)所采用的Mg靶、Mo靶和SiC靶的材料纯度分别为99.95％，99.5％，99.5％。

9.根据权利要求6所述的Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜的制作方法，其特征在于，在镀制打底层(2)前基底(1)本底的真空度优于8E-5帕斯卡。

10.根据权利要求6所述的Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜的制作方法，其特征在于，所述的打底层(2)及Mg/Mo/SiC周期多层膜(6)在镀制过程中采用的工作气体为氩气，纯度为99.999％，镀制过程中工作气压恒为0.13帕斯卡。