[发明专利]用于透射电子显微镜的检测器系统

权利要求书

1.一种用于透射电子显微镜（202）的检测器系统（204），包括：

像素（218）的阵列（216），用于在成像时间段期间将撞击电子转换成电子信号；

第一计算机存储器，包括多个数据存储区（404）以用于存储在图像采集时间段内的不同时间处由所述阵列中的一个或更多像素捕获的数据；以及

处理器（402），被编程来分析在图像采集时间段期间的不同时间处来自所述阵列中的一个或更多像素的数据，并且在采集图像的同时基于所述分析结果来修改图像采集过程。

2.权利要求1的检测器系统（204），其中，所述处理器（402）被编程来对于在不同时间处从所述阵列（216）中的少于全部像素（218）读取的数据进行比较，以便确定图像是否示出样品充电的效应。

3.权利要求1的检测器系统（204），其中，所述处理器（402）被编程来对于在不同时间处从所述阵列（216）中的像素（218）读取的数据进行比较，以便确定图像是否示出样品起泡的效应。

4.权利要求1的检测器系统（204），其中，所述处理器（402）把在图像捕获时间段的第一部分期间捕获的数据与在图像捕获时间段的后面一部分期间捕获的数据进行比较，以便定位将指示起泡存在的局部亮度增大。

5.权利要求1的检测器系统（204），其中，所述像素（218）包括CMOS有源像素传感器。

6.一种利用透射电子显微镜（202）形成图像的方法，包括：

将电子束导向样品（212）；

提供包括多个像素（218）的检测器（204）以便检测穿过样品的电子；

在图像采集时间段期间从所述多个像素中的一个或更多像素获得数据；

对于在图像采集时间段期间从所述一个或更多像素获得的数据进行分析；以及

基于所述分析的结果来修改图像采集过程。

7.权利要求6的方法，其中，在图像采集时间段期间从一个或更多像素（218）获得数据包括：在图像采集时间段期间的多个时间处从所述一个或更多像素获得数据，以及把在不同时间处从所述一个或更多像素导出的数值进行比较。

8.权利要求7的方法，其中，在多个时间处从所述一个或更多像素（218）获得数据包括：至少每100ms读出全部像素的数值。

9.权利要求7的方法，其中，在多个时间处从所述一个或更多像素（218）获得数据包括：读出图像的一个角落中的像素的数值，以便确定所述图像是否受到样品充电的影响。

10.权利要求7的方法，其中，在多个时间处从所述一个或更多像素（218）获得数据包括：读出全部像素的数值，以便确定图像是否受到起泡的影响。

11.权利要求7的方法，其中，把在不同时间处从所述一个或像素导出的数值进行比较包括：把围绕单独像素的局部区域的统计量进行比较。

12.权利要求7的方法，其中，基于所述分析结果来修改图像采集过程包括：丢弃包括成像伪像的数据。

13.权利要求7的方法，其中，基于所述分析结果来修改图像采集过程包括：修改图像数据以便校正漂移。

14.一种透射电子显微镜（202），包括：

电子源；

用于把电子导向样品（212）的电子光学镜筒；以及

根据权利要求1的电子检测器（204）。