[发明专利]酸性蚀刻液循环再生与铜回收装置

权利要求书

1.一种酸性蚀刻液循环再生与铜回收装置，其特征在于：包括电解槽（1），电解槽（1）中间设有将电解槽（1）分隔为阳极区（11）和阴极区（12）的异相或均相离子阳膜（2），阳极区（11）中设有正电极（3），阴极区（12）中设有负电极（4），所述的阳极区（11）设有蚀刻废液入口和再生液出口，蚀刻废液入口通过管道与蚀刻机的蚀刻废液出口相接，再生液出口通过管道接有再生液混合槽（5）；所述的阴极区（12）通过管道与铜粉分离机（6）形成循环以分离铜粉，阴极区（12）设有蚀刻废液入口和再生液出口，蚀刻废液入口通过管道与蚀刻机的蚀刻废液出口相接，再生液出口通过管道与再生液混合槽（5）连接；所述的再生液混合槽（5）的出口通过管道与蚀刻机的蚀刻液入口相接。

2.按照权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生与铜回收装置，其特征在于：所述的阳极区（11）和阴极区（12）的蚀刻废液入口管道中设有温度调节装置（8）。

3.按照权利要求2所述的酸性蚀刻液循环再生与铜回收装置，其特征在于：所述的温度调节装置（8）由电加热管和冷冻水管组成。

4.按照权利要求1或2或3所述的酸性蚀刻液循环再生与铜回收装置，其特征在于：所述的管道中设有抽送液体的循环泵浦（7）。

5.按照权利要求1或2或3所述的酸性蚀刻液循环再生与铜回收装置，其特征在于：所述的正电极（3）是由钛板和镀在钛板上的贵金属氧化层构成。

6.按照权利要求1或2或3所述的酸性蚀刻液循环再生与铜回收装置，其特征在于：所述的负电极（4）是由经表面活化处理的底阻耐腐蚀金属板构成。

7.按照权利要求2或3所述的酸性蚀刻液循环再生与铜回收装置，其特征在于：所述的温度调节装置将蚀刻废液的温度控制在40-52℃之间。