[发明专利]一种水平气浮台

权利要求书

1.一种水平气浮台，包括底座，其特征在于，所述底座上罩扣有槽型X向滑台，所述X向滑台上罩扣有槽型Y向滑台；

其中，所述槽型X向滑台开设有导通的第一进气孔和第一出气孔，当所述第一进气孔导入气体时，所述气体自第一出气孔导出并于底座与槽型X向滑台的罩扣面处形成气膜；

所述槽型Y向滑台开设有导通的第二进气孔和第二出气孔，当所述第二进气孔导入气体时，所述气体自第二出气孔导出并于底座的顶面与槽型Y向滑台的两立槽的底面之间、以及槽型X向滑台与槽型Y向滑台的罩扣立面处形成气膜。

2.如权利要求1所述的水平气浮台，其特征在于，所述第一进气孔开设于槽型X向滑台侧壁；所述第二进气孔开设于槽型Y向滑台侧壁。

3.如权利要求2所述的水平气浮台，其特征在于，所述第一出气孔开设于槽型X向滑台的两立槽内表面、以及槽型X向滑台的水平槽内表面。

4.如权利要求3所述的水平气浮台，其特征在于，所述第一出气孔包括多个出气小孔，所述多个出气小孔按矩形、三角形、直线形、或圆形排列。

5.如权利要求2所述的水平气浮台，其特征在于，所述第二出气孔开设于槽型Y向滑台的两立槽的底面、以及槽型Y向滑台的两立槽的内表面。

6.如权利要求5所述的水平气浮台，其特征在于，所述第二出气孔包括多个出气小孔，所述多个出气小孔按矩形、三角形、直线形、或圆形排列。