[发明专利]派工控制方法及派工控制设备有效
| 申请号： | 201110257374.8 | 申请日： | 2011-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN102361003A | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | 陈蕾;鲍晔;胡林;周孟兴 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 控制 方法 设备 | ||
1.一种派工控制方法，其特征在于包括：
初始设定分配设备选择步骤，用于从工厂的用于处理当前批次的产品的多个设备中为当前批次的产品选择初始设定分配设备；
判定步骤，用于判定最近生产的n批产品中在初始设定分配设备上的批数是否超过m，其中n＞m；
第一执行步骤，用于在判定步骤的判定结果是否定的情况下将当前批次的产品分配给初始设定分配设备；以及
第二执行步骤，在判定步骤的判定结果是肯定的情况下不将当前批次的产品分配给初始设定分配设备。
2.根据权利要求1所述的派工控制方法，其特征在于还包括：在判定步骤的判定结果是肯定的情况下执行初始设定分配设备重新选择步骤，用于从工厂的用于处理当前批次的产品的多个设备中为当前批次的产品重新选择初始设定分配设备。
3.根据权利要求2所述的派工控制方法，其特征在于还包括：在初始设定分配设备重新选择步骤之后，针对新的初始设定分配设备重新执行判定步骤。
4.根据权利要求1或2所述的派工控制方法，其特征在于还包括根据所述多个设备的数量和/或处理速度选择n和m的具体数值。
5.一种派工控制设备，其特征在于包括：
初始设定分配设备选择模块，用于从工厂的用于处理当前批次的产品的多个设备中为当前批次的产品选择初始设定分配设备；
判定模块，用于最近生产的n批产品中在初始设定分配设备上的批数是否超过m，其中n＞m；
第一执行模块，用于在判定步骤的判定结果是否定的情况下将当前批次的产品分配给初始设定分配设备；以及
第二执行模块，在判定步骤的判定结果是肯定的情况下不将当前批次的产品分配给初始设定分配设备。
6.根据权利要求5所述的派工控制设备，其特征在于还包括初始设定分配设备重新选择模块，用于在判定步骤的判定结果是肯定的情况下，用于从工厂的用于处理当前批次的产品的多个设备中为当前批次的产品重新选择选择初始设定分配设备。
7.根据权利要求6所述的派工控制设备，其特征在于，其中判定模块还用于在初始设定分配设备重新选择步骤之后，针对新的初始设定分配设备，重新判定最近生产的n批产品中在初始设定分配设备上的批数是否超过m，其中n＞m。
8.根据权利要求5或6所述的派工控制方法，其特征在于，根据所述多个设备的数量和/或处理速度选择n和m的具体数值。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海宏力半导体制造有限公司，未经上海宏力半导体制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110257374.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：防冻组合物
- 下一篇：快速处置分支指令预测错误的流水线处理器装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
