[发明专利]光照射装置

说明书

技术领域

本发明涉及光照射装置。

背景技术

液晶面板70如图8所示，为于两张玻璃板之间封入液晶的构造，例如，于一面形成多个有源元件(例如薄膜晶体管：TFT)72及液晶驱动用电极(透明电极：ITO)73、进而于其上形成取向膜74的第1玻璃板71，与于一面形成彩色滤光片76、透明电极77及取向膜78的第2玻璃板75，以经由间隔物构件79而一面彼此相互对置的方式配置，并于第1玻璃板71及第2玻璃板75之间形成液晶层80而构成。

于此种液晶面板70的制造工序中，公知有通过对具有含对紫外线反应而聚合的光学活性物质(单体)的液晶的液晶面板材照射紫外线，进行液晶面板材的反应处理(预倾角发现处理，PSVA)的技术(参照专利文献1)。于此技术中，通过一边施加电压一边将紫外线对液晶面板材照射，可在使液晶取向于特定方向的状态下使光学活性物质聚合，由此，可赋予液晶所谓预倾角。

于此种利用紫外线的液晶面板材的反应处理(PSVA)中，需要对液晶的光学活性物质以高照度照射紫外线之外，还要求液晶的光学活性物质不会暴露于高温下。

光学活性物质的反应速度的温度依存性较高，光照射中的温度较高时则会过度聚合而使聚合物颗粒的成长过大。于是，因为没有均匀的预倾角而对比变差，会造成漏光。

进而，液晶面板材的光照射面中产生温度不均匀的话，光学活性物质的反应会产生偏差(离差)，使液晶的倾斜(预倾角)也产生不均，此液晶的倾斜不均在成品时会造成浓淡不均。

如上所述，于液晶面板的制造工序中，在进行利用紫外线的液晶面板材的反应处理时，虽然被要求(1)将波长300～400nm的紫外线照射液晶面板材，(2)液晶面板材的光照射面的紫外线照射的面内均匀性较高，(3)液晶面板材的温度上升较少，液晶面板材的光照射面的温度的面内均匀性较高，但是，不会对光学活性物质造成坏影响，可进行所希望的液晶面板材的反应处理的紫外线照射装置并非众所皆知也是实情。

[先前技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本特开2003-177408号公报

并且，于此种紫外线照射装置中，例如全长为2500mm以上的长条的准分子灯，于其点灯时例如一边通过冷却风冷却，一边使用。

作为冷却准分子灯的手段，例如设置在准分子灯插通于内部的状态下具有透光性的外套管，使外套管的内部流通冷却风，但是，在准分子灯为长条时，于外套管的内部，必须流动例如流速为20～30m/sec的风量的强力冷却风。

然而，在此种冷却方法中，因在外套管的内部会产生乱流而使准分子灯摇晃，产生灯因其震动而破损的问题。

进而，因为准分子灯摇晃，产生从准分子灯照射光线的区域的大小及位置变化而损害被处理对象物的光照射面的照度均匀性的问题。

发明内容

本发明是鉴于以上状况所进行的发明，目的为提供可进行被处理对象物的光照射面的照度的面内均匀性高的光照射处理的光照射装置。

本发明的光照射装置，其特征为具备光源元件而构成，该光源元件由长条灯和长条的筒状外套管所构成，所述长条灯为长边方向的两端部通过框体保持的、垂直于长边方向的剖面形状为矩形状的长条灯，所述长条的筒状外套管为在该灯插通于内部的状态下，长边方向的两端部通过前述框体保持设置的、于内部形成冷却风流通路径的具有透光性的筒状外套管；

于前述外套管的内部，设置有将前述灯于其长边方向的局部位置对该外套管直接支持的支撑部；

该支撑部具备与前述灯的4个棱角的角部相接、挟持该灯并加以保持的、由绝缘材料所构成的支撑部本体，于该支撑部本体，形成有抵接于前述外套管的内面的、具备弹性构件的外套管抵接部。

于本发明的光照射装置中，前述灯，由具有沿灯泡的长边方向延伸的开口部的反射材层被形成于前述灯泡的内面的准分子灯所构成；

前述支撑部，优选于与前述反射材层的开口部对置的区域，形成有使隔着该开口部而放射的来自前述准分子灯的放射光通过的空间部的构造。

于此种构造中，前述支撑部本体，可作为分别连结整体为略钩状的两个臂构件所构成，该臂构件的各个前端在以位于与前述反射材层的开口部对置的区域外的方式离开的状态下被设置，由此，形成前述空间部的构造。

发明的效果：