[发明专利]光学装置

权利要求书

1.一种光学装置，其特征在于，具备：

波长可变干涉滤光器，使入射光中的经多重干涉而加强的光透过；

远心光学系统，将所述入射光导向所述波长可变干涉滤光器；以及

检测部，检测透过了所述波长可变干涉滤光器的光，

其中，所述波长可变干涉滤光器具备：

第一基板；

第二基板，与所述第一基板对置，所述第二基板具备可动部以及保持部，所述保持部包围所述可动部的外周且将所述可动部保持为能够相对于所述第一基板进退移动；

第一反射膜，设置在所述第一基板上；

第二反射膜，设置在所述可动部上，隔着间隙与所述第一反射膜对置；以及

间隙可变部，通过使所述可动部位移以使所述间隙的尺寸变化，

在所述第一反射膜和所述第二反射膜上设置有测定有效区域，所述测定有效区域能够在通过所述间隙可变部使所述可动部的位移量变为最大时使以测定中心波长为中心且处于预先设定的容许值以内的波长的光透过，

通过所述远心光学系统，使所述入射光的主光线垂直导向所述第一反射膜的面或者所述第二反射膜的面，使所述入射光会聚在所述测定有效区域内。

2.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

所述测定有效区域是以下的区域：在通过所述间隙可变部将所述可动部的位移量设定为最大位移量时，沿所述可动部的中心轴上的所述间隙的尺寸和与所述测定有效区域的外周边缘相对的所述间隙的尺寸之间的差值小于等于所述容许值的一半。

3.根据权利要求1或2所述的光学装置，其特征在于，

在所述波长可变干涉滤光器和所述检测部之间设置有将透过了所述波长可变干涉滤光器的透过光放大的放大透镜系统。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的光学装置，其特征在于，

在所述远心光学系统与所述波长可变干涉滤光器之间设置有第一圆偏振片，所述第一圆偏振片使从所述远心光学系统向所述波长可变干涉滤光器的光透过，并吸收从所述波长可变干涉滤光器向所述远心光学系统的光。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的光学装置，其特征在于，

在所述波长可变干涉滤光器和所述检测部之间设置有第二圆偏振片，所述第二圆偏振片使从所述波长可变干涉滤光器向所述检测部的光透过，并吸收从所述检测部向所述波长可变干涉滤光器的光。