[发明专利]微等离子体产生装置及其灭菌系统

说明书

技术领域

本发明是关于一种微等离子体产生装置，尤其指一种适用于灭菌的微等离子体产生装置及微等离子体灭菌系统。

背景技术

对于可以重复使用的医疗器具，例如：对于外科或牙科器具进行灭菌时，则须要保证可以全数去除该些器具上附着的微生物，不论是细菌、真菌或病毒，皆需要全数去除以防止下一个病患受到任何可能性的感染。然而，现今已知的灭菌方法，举例如：高热高压灭菌、施用如：环氧乙烷类的化学性杀菌药剂、或以物理性放射线照射等方法，却很有可能对于受处理的样本造成一定程度的损伤或破坏。因此，大型医疗院所近年来开始采用低温低压等离子体灭菌法，亦即于真空状态下，利用电波能量刺激极度活化的气体，使离子与分子互相碰撞产生自由基，可在低于50℃下破坏微生物新陈代谢以进行灭菌，此种方法对环境无毒性残存(氧气及水)，故可处理不耐热及不耐湿的医疗器材。

为了改善灭菌时对于处理物可能造成的伤害，以及降低真空低温等离子体机台购置成本，近来发展利用非热性、常压的介电阻障(dielectric barrier discharge，DBD)等离子体进行灭菌，此种DBD等离子体是在两平面电极间产生等离子体，其中一电极上覆以介电材质屏障，以避免产生非预期微电弧，DBD等离子体可减少或避免高能量部分造成的影响，只要施加低能量即可获得高反应性的物质达到灭菌效果。然而，上述DBD等离子体仍有使用上的限制，此因医疗器具大多数具有不规则的外型，但DBD等离子体却难以覆盖上述医疗器具所有暴露的表面，或者难以作用至前述医疗器材上某些缝隙中所藏匿的细菌，因此，灭菌的成效受制于待处理物的几何形状。另一方面，藏匿而残余的细菌，通常处于潮湿环境，如：水溶液中，因此必须施用可确保水溶液中亦可达到完全灭菌效果的灭菌技术，但若采用DBD等离子体在水溶液中进行灭菌，困难性则会大幅提升。

因此，若可以发展出一种得以在水溶液中达到完全灭菌标准的微等离子体技术，可随处理样品外观或形状而弹性装配，则可以大幅减少灭菌所需的时间及降低机台购置成本，加速相关领域的发展。

发明内容

本发明的目的在于提供一种微等离子体产生装置和微等离子体灭菌系统，以改进公知技术中存在的缺陷。

为实现上述目的，本发明提供的微等离子体产生装置，包括：

一第一气体贮存单元，其用于存放一第一气体；

一第二气体贮存单元，其用于存放一第二气体；

一微等离子体产生单元，其包括：一气体传输腔体，具有一第一入口端及一第一出口端，其中，该第一入口端连接该第一气体贮存单元并输入该第一气体；一散热保护腔体，其一侧连接该气体传输腔体的该第一出口端内壁；一介电质内管，其具有一第二入口端及一第二出口端且贯穿该散热保护腔体，其中，该第二入口端连通该气体传输腔体；一电极，设置于该介电质内管的该第二出口端的外侧且位于该散热保护腔体内；以及一中空金属管，其设置于该气体传输腔体及该介电质内管内，该中空金属管具有一第三入口端及一第三出口端，该第三入口端连接该第二气体贮存单元并输入该第二气体；以及

一电源供应单元，其耦合该电极及该中空金属管，以于该电极及该中空金属管之间产生微等离子体。

所述的微等离子体产生装置，其中，该电源供应单元是一高频高压低电流电源供应器。

所述的微等离子体产生装置，其中，该中空金属管平行该介电质内管并设置于该介电质内管的中央。

本发明提供的微等离子体灭菌系统，是对一样本进行灭菌，该微等离子体灭菌系统包括：

一第一气体贮存单元，其用于存放一第一气体；

一第二气体贮存单元，其用于存放一第二气体；

一或复数个微等离子体产生单元，每一微等离子体产生单元包括：

一气体传输腔体，其具有一第一入口端及一第一出口端，其中，该第一入口端连接该第一气体贮存单元并输入该第一气体；

一散热保护腔体，其一侧连接该气体传输腔体的该第一出口端内壁；

一介电质内管，其具有一第二入口端及一第二出口端且贯穿该散热保护腔体，其中，该第二入口端连通该气体传输腔体；

一电极，其设置于该介电质内管的该第二出口端的外侧且位于该散热保护腔体内；以及

一中空金属管，其设置于该气体传输腔体及该介电质内管内，该中空金属管具有一第三入口端及一第三出口端，该第三入口端连接该第二气体贮存单元并输入该第二气体；以及