[发明专利]图案修正装置及图案修正方法

权利要求书

1.一种图案修正装置，其是对形成于基板表面的图案的缺陷部进行修正的图案修正装置，其特征在于，包括：

局部提高所述缺陷部及其附近的湿度以除去所述缺陷部及其附近的静电的静电除去装置；以及

对利用所述静电除去装置除去静电后的所述缺陷部喷出修正液体的液滴的静电吸引型的喷墨喷嘴。

2.如权利要求1所述的图案修正装置，其特征在于，

所述静电除去装置包括对所述缺陷部及其附近喷射加湿气体的加湿喷嘴。

3.如权利要求2所述的图案修正装置，其特征在于，

所述静电除去装置还包括使气体通过水中以对气体进行加湿，并将加湿气体供给到所述加湿喷嘴的加湿装置。

4.如权利要求1所述的图案修正装置，其特征在于，

所述静电除去装置通过局部提高所述缺陷部及其附近的湿度并在所述缺陷部及其附近的表面上形成水膜，来除去所述缺陷部的静电。

5.如权利要求4所述的图案修正装置，其特征在于，

所述静电除去装置包括对所述缺陷部喷射加湿气体的加湿喷嘴，所述水膜是因所述加湿气体中含有的水在所述缺陷部凝结而形成的。

6.如权利要求5所述的图案修正装置，其特征在于，

所述静电除去装置还包括使气体通过水中以对气体进行加湿，并将加湿气体供给到所述加湿喷嘴的加湿装置。

7.如权利要求6所述的图案修正装置，其特征在于，

所述加湿装置包括：

供使气体通过以用于加湿的水注入的容器；以及

将所述容器内的水加热到规定温度以使所述加湿气体中含有的水在所述缺陷部凝结的加热器。

8.如权利要求4所述的图案修正装置，其特征在于，

所述修正液体是非水溶性墨水。

9.如权利要求2至8中任一项所述的图案修正装置，其特征在于，

在开始从所述加湿喷嘴喷射所述加湿气体之后，开始从所述喷墨喷嘴喷出所述修正液体的液滴，并在结束从所述喷墨喷嘴喷出所述修正液体的液滴之后，结束从所述加湿喷嘴喷射所述加湿气体。

10.如权利要求2至8中任一项所述的图案修正装置，其特征在于，

从所述加湿喷嘴喷射出的所述加湿气体的流量设定成使从所述喷墨喷嘴朝所述缺陷部喷出的所述修正液体的液滴不偏离所述缺陷部。

11.如权利要求10所述的图案修正装置，其特征在于，

从所述加湿喷嘴喷射出的所述加湿气体的流量设定成所述加湿喷嘴前端的每1mm2内径面积的流量在3ml/sec以下。

12.如权利要求2至8中任一项所述的图案修正装置，其特征在于，

所述静电除去装置还包括设于所述加湿喷嘴的喷射口，使从所述加湿喷嘴喷射出的气流分散的多孔质构件。

13.如权利要求2至8中任一项所述的图案修正装置，其特征在于，

在所述喷墨喷嘴的周围配置多个所述加湿喷嘴，多个所述加湿喷嘴对所述缺陷部均匀地喷射所述加湿气体。

14.如权利要求2至8中任一项所述的图案修正装置，其特征在于，

所述加湿喷嘴的喷出口以围绕所述喷墨喷嘴的方式形成环状。

15.如权利要求1所述的图案修正装置，其特征在于，

所述静电除去装置包括设于所述喷墨喷嘴附近，能吸收及放出加湿用的水的水吸收构件。

16.如权利要求15所述的图案修正装置，其特征在于，

所述水吸收构件以围绕所述喷墨喷嘴的方式配置成环状。

17.如权利要求15或16所述的图案修正装置，其特征在于，

所述静电除去装置还包括设于所述水吸收构件附近以对湿度进行检测的湿度传感器。

18.如权利要求1所述的图案修正装置，其特征在于，

还包括保护所述喷墨喷嘴的前端的保护套，所述静电除去装置的至少一部分设于所述保护套。