[发明专利]声表面波器件、电子设备及传感器装置

权利要求书

1.一种声表面波器件，其特征在于，具有：

水晶基板，其欧拉角为：(-1.5°≤Φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，42.79°≤|ψ|≤49.57°)；

叉指换能器，其由被设置于所述水晶基板的主面上的多个电极指构成，且激振阻带上限模式的声表面波；

一对反射器，其沿着所述声表面波的传播方向并以夹着所述叉指换能器的方式而在叉指换能器两侧配置，并分别由多个导体条构成；

电极指间槽，其凹设在所述叉指换能器的相邻的所述电极指间的、所述水晶基板的表面上；

导体条间槽，其凹设在所述反射器的相邻的所述导体条间的、所述水晶基板的表面上，

所述声表面波的波长λ与所述电极指间槽的深度G满足0.01λ≤G的关系，

所述叉指换能器的线占有率η与所述电极指间槽的深度G满足下述式8以及式9的关系，即，

式8

-2.0000×G/λ+0.7200≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775，但是，0.0100λ≤G≤0.0500λ；

式9

-3.5898×G/λ+0.7995≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775，但是，0.0500λ＜G≤0.0695λ；

所述叉指换能器的线占有率η与所述反射器的线占有率ηr之间满足η＜ηr的关系。

2.如权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于，

所述反射器的线占有率ηr满足0.70≤ηr≤0.95。

3.如权利要求1或2所述的声表面波器件，其特征在于，

所述叉指换能器的所述电极指的间距Pt与所述反射器的所述导体条的间距Pr之间，满足0.995≤Pt/Pr≤1.010的关系。

4.如权利要求3所述的声表面波器件，其特征在于，

所述叉指换能器的所述电极指的间距Pt与所述反射器的所述导体条的间距Pr之间，满足0.997≤Pt/Pr≤1.0075的关系。

5.如权利要求1或2所述的声表面波器件，其特征在于，

所述叉指换能器的线占有率η满足下述式10，即，

式10

η＝-1963.05×(G/λ)³+196.28×(G/λ)²-6.53×(G/λ)

     -135.99×(H/λ)²+5.817×(H/λ)+0.732

     -99.99×(G/λ)×(H/λ)。

6.如权利要求1或2所述的声表面波器件，其特征在于，

所述电极指间槽的深度G与所述电极指的膜厚H之和，满足0.0407λ≤G+H。

7.如权利要求1或2所述的声表面波器件，其特征在于，

与所述电极指以及所述导体条正交的第1方向和所述水晶基板的电轴所成的角度，为所述欧拉角ψ，

所述叉指换能器以及所述反射器中的至少一部分被配置在，以与所述第1方向成角度δ而交叉的第2方向上，

所述角度δ在所述水晶基板的能流角±1°的范围内。

8.如权利要求1或2所述的声表面波器件，其特征在于，

还具有用于对所述叉指换能器进行驱动的振荡电路。

9.一种电子设备，其特征在于，

具有权利要求1或2所述的声表面波器件。

10.一种传感器装置，其特征在于，

具有权利要求1或2所述的声表面波器件。