[发明专利]一种用于喷涂设备的网带吹干装置无效
申请号: | 201110263206.X | 申请日: | 2011-08-23 |
公开(公告)号: | CN102956745A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 诸文宇;王辉;周斌;邹义峰 | 申请(专利权)人: | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 臧霁晨;高为 |
地址: | 214028 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 喷涂 设备 吹干 装置 | ||
技术领域
本发明一般地涉及太阳电池制造工艺中所用的喷涂设备,并且更具体地涉及所述喷涂设备中的吹干装置。
背景技术
众所周知,利用太阳能有许多优点,光伏发电将为人类提供主要的能源,但目前来讲,要使太阳能发电具有较大的市场,被广大的消费者接受,提高太阳电池的光电转换效率,降低生产成本应是我们追求的最大目标。太阳电池的主要制作原料为硅片,在高纯度硅片上形成半导体P-N结,P-N结受到光照而形成从P极向N极的电流,利用金属互连使多个P-N结形成阵列,再连接电极,收集这些电流并储存即得到可用的电能。太阳电池的主要加工工艺包括:1.清洗,即对原始高纯度硅片进行表面结构处理;2.烘干,即去除材料表面粘附的水分子,保证硅片表面干燥;3.扩散,即在硅片上制造P-N结;4.刻蚀,即去边以避免形成回路而无电流输出;5.喷涂,即制造减反射膜,减少光的反射;6.印刷,即制成电极以便于收集电流;7.烧结,即使电极和硅片形成良好的欧姆接触,便于电流输出。
在太阳电池的制备过程中通常会用到各种喷涂设备,在这些喷涂设备中,作为原料的硅片被置于网带上以便于依次地或者同时地对多个硅片进行喷涂处理,这种处理将使得作为硅片载体的网带被喷涂过程中所采用的酸性液体浸湿。在下一次将硅片放置于网带上之前,必须将之前用过的网带弄干,以保证硅片处理工艺不受干扰。
目前常用的喷涂设备采用气缸结构来进行网带吹干处理。但是,传统的气缸结构在酸环境下使用寿命很短,一般只有1年左右,其很难维修并且更换价格昂贵。除此之外,气缸的来回运动还会导致气管因磨损而经常断裂,因此使得网带上的水不能有效地被吹干,网带滴水现象将严重影响工艺,并且经常更换气管使得维修工作量很大。
因此,对于具有改进的网带吹干装置的喷涂设备有很大的需求。
发明内容
本发明的目的是更高效地解决用于制备太阳电池的喷涂设备中网带滴水的问题,同时降低设备的维护成本并减少维修工作量。
为实现上述目的,本发明提供了一种用于喷涂设备的网带吹干装置,所述装置大体上位于所述网带下方,其中所述喷涂设备用于太阳电池制备,并且其中所述网带用于承载制备太阳电池所用的硅片。所述装置包括风刀,该风刀包括进风口、刀体以及出风口。所述出风口呈长条形,其被设置为大体上朝向所述网带并且在所述网带的宽度方向上与所述网带平行。
优选地,所述出风口的长度与所述网带的宽度大体上相等。
优选地,所述出风口由多个出风孔构成,其中所述多个出风孔沿所述出风口的长度方向排成直线。
优选地,所述刀体呈圆柱形,而所述出风口突出于所述刀体。
优选地,所述风刀由防腐蚀材料制成。
优选地,所述装置还包括支架,其中所述风刀被固定于所述支架之上。
优选地,所述支架由不锈钢材料制成。
优选地,所述支架的高度为750毫米。
本发明还提供了一种喷涂设备,所述喷涂设备包括前述任意一种网带吹干装置。采用本发明所提供的网带吹干装置的喷涂设备能够大大降低太阳电池制备过程中所使用的喷涂设备的维护成本以及维修工作量。
下面将结合具体实施例来描述本发明的方法。
附图说明
图1是喷涂设备中常用的网带吹干装置的侧视图;
图2是喷涂设备中常用的网带吹干装置的后视图;
图3是本发明所提供的网带吹干装置的示意图;
图4是本发明所提供的网带吹干装置的出气口的细节图;
图5是本发明所提供的网带吹干装置的后视图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点更加明显易懂,以下结合附图和具体实施例进一步详细描述本发明。需要说明的是,附图中的各结构只是示意性的而不是限定性的,以使本领域普通技术人员最佳地理解本发明的原理,其不一定按比例绘制。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的