[发明专利]一种多晶硅湿刻机的抽风盖板

说明书

 

技术领域

本发明涉及一种多晶硅湿刻机的抽风盖板。

背景技术

多晶硅太阳能电池片的湿刻生产一般采用多晶硅湿刻机，多晶硅湿刻机内具有药液池，药液池的上方设置有抽风盖板，湿刻机一般可允许5道上料，即5片多晶硅片同时在药液上漂过，硅片只有下表面及侧面接触到药液，上表面由于是扩散面，扩散后产生方块电阻，故药液不漫过上表面，这种湿刻技术俗称水上漂技术，硅片与药液反应时会释放出气体与酸气，气体与酸气经抽风盖板被抽风装置吸走，现有的多晶硅湿刻机的抽风盖板，一般在本体纵向方向上开设6-8个贯穿自身的径向尺寸相同的抽风孔，不但不能够及时抽走气体与酸气，而且抽风不均匀，导致酸气与硅片上表面接触增大了方块电阻，影响了电池片的电性能，而且每道硅片的方块电阻上升值不一样，彼此之间相差较大，不符合标准范围，影响了电池片的转换效率。

发明内容

本发明的目的是提供可及时、均匀得吸走气体和酸气，进而增进多晶硅太阳能电池片的电性能的多晶硅湿刻机的抽风盖板。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种多晶硅湿刻机的抽风盖板，沿所述抽风盖板纵向方向的中部开设一排贯穿自身的正面、背面的基准抽风孔，平行于所述基准抽风孔在所述抽风盖板上开设多排抽风孔，所述抽风孔密集、均匀得排布在所述抽风盖板本体上，所述抽风孔在所述抽风盖板的横向方向上至少排布有三列，每列所述抽风孔相互平行。

优选地，所述抽风孔为圆形或多边形。

优选地，所述抽风孔的径向尺寸由所述基准抽风孔向两侧逐排增大，每排所述抽风孔的径向尺寸相同。

由于上述技术方案的运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：开设贯穿抽风盖板的正面、背面的抽风孔，在纵向方向上，以抽风盖板中部的基准抽风孔为基准设置多排平行的抽风孔，抽风孔自基准抽风孔起越向外则径向尺寸越大，在横向方向上确保至少设置有三列抽风孔，抽风孔均匀密集得排布在抽风盖板上，抽风孔的数量较多，可在单位时间内吸走较多的气体及酸气，且越远离基准抽风口，抽风口的径向尺寸就越大，在吸力逐渐减弱的情况下，这确保了抽风的均匀，湿刻后的多晶硅太阳能电池片的电性能更好。

 附图说明

附图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图来进一步阐述本发明的结构。

参见图1所示，在本实施例中，沿抽风盖板2的中部位置开设一排贯穿自身的正面、背面的圆形基准抽风孔1，于基准抽风孔1的两侧沿抽风盖板2的纵向方向开设多排平行于基准抽风孔1的一排圆形抽风孔如3，每排抽风孔如3的抽风孔的径向尺寸相同，在横向方向上，圆形抽风孔至少排布为三列，每列抽风孔互相平行，这种排布方式确保了抽风孔在抽风盖板2上均匀、密集得排布，使抽风盖板2上排布的抽风孔较多，单位时间内被吸走的气体与酸气的量较多，大大降低了整个药液池区域的酸气量，降低了方块电阻的上升值，减小了酸气对多晶硅太阳能电池片的电性能的影响。

在图1中，基准抽风孔1的径向尺寸是所有抽风孔中最小的，同时，抽风装置也布置在该处，使得该处的抽吸力最大，由基准抽风孔1向两侧设置的每排抽风孔如3的径向尺寸逐排增大，同时，距离基准抽风孔1越远的位置，抽吸力越弱，所以抽气孔径向尺寸的变大有效提高了其抽气量，这种结构使得各排抽气孔的抽气量趋于均匀，使各道硅片的方块电阻上升值均匀，提高了产品电性能的稳定性，提高了产品的合格率。