[发明专利]晶体生长炉加热器和蓝宝石晶体生长炉无效

专利信息
申请号: 201110265812.5 申请日: 2011-08-29
公开(公告)号: CN102345161A 公开(公告)日: 2012-02-08
发明(设计)人: 盛建明;王平;胡董成;张雪平 申请(专利权)人: 江苏同人电子有限公司
主分类号: C30B15/14 分类号: C30B15/14;C30B29/20
代理公司: 北京市德恒律师事务所 11306 代理人: 陆鑫;高雪琴
地址: 212400 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 晶体生长 加热器 蓝宝石
【权利要求书】:

1.一种晶体生长炉加热器,其特征在于,所述加热器呈筒形,包括:

多个电极(1),分布成环形,设置在所述筒形的一个端部;

连接环(3),设置在所述筒形的另一个端部;

钨丝网(5),一端与所述多个电极(1)的每个电极(1)连接,另一端与所述连接环(3)连接,形成所述筒形的筒体。

2.根据权利要求1所述的加热器,其特征在于,所述多个电极(1)的每个电极(1)的中间部位,设有沿所述筒形的径向方向并且朝向所述筒形的外部延伸的加长柄(11)。

3.根据权利要求1或2所述的加热器,其特征在于,所述连接环(3)包括内层连接环(31),以及套设在所述内层连接环(31)外部的外层连接环(33);

其中,所述钨丝网(5)固定连接在所述内层连接环(31)和外层连接环(33)之间的间隙中。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的加热器,其特征在于,所述钨丝网(5)由螺旋状的钨丝相互连接而成。

5.根据权利要求4所述的加热器,其特征在于,所述钨丝网(5)与所述每个电极(1)以及与所述连接环(3)的连接方式均为整体焊接。

6.根据权利要求1-3或5中任一项所述的加热器,其特征在于,所述多个电极(1)包括六个电极(1),每两个电极(1)为一组形成三组电极(1)。

7.一种蓝宝石晶体生长炉,其特征在于,具有权利要求1-6中任一项所述的加热器。

8.根据权利要求7所述的加热器,其特征在于,所述加热器的多个电极(1)与三相交流电源的输出端相连接。

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