[发明专利]晶体生长炉加热器和蓝宝石晶体生长炉无效
申请号: | 201110265812.5 | 申请日: | 2011-08-29 |
公开(公告)号: | CN102345161A | 公开(公告)日: | 2012-02-08 |
发明(设计)人: | 盛建明;王平;胡董成;张雪平 | 申请(专利权)人: | 江苏同人电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/20 |
代理公司: | 北京市德恒律师事务所 11306 | 代理人: | 陆鑫;高雪琴 |
地址: | 212400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶体生长 加热器 蓝宝石 | ||
1.一种晶体生长炉加热器,其特征在于,所述加热器呈筒形,包括:
多个电极(1),分布成环形,设置在所述筒形的一个端部;
连接环(3),设置在所述筒形的另一个端部;
钨丝网(5),一端与所述多个电极(1)的每个电极(1)连接,另一端与所述连接环(3)连接,形成所述筒形的筒体。
2.根据权利要求1所述的加热器,其特征在于,所述多个电极(1)的每个电极(1)的中间部位,设有沿所述筒形的径向方向并且朝向所述筒形的外部延伸的加长柄(11)。
3.根据权利要求1或2所述的加热器,其特征在于,所述连接环(3)包括内层连接环(31),以及套设在所述内层连接环(31)外部的外层连接环(33);
其中,所述钨丝网(5)固定连接在所述内层连接环(31)和外层连接环(33)之间的间隙中。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的加热器,其特征在于,所述钨丝网(5)由螺旋状的钨丝相互连接而成。
5.根据权利要求4所述的加热器,其特征在于,所述钨丝网(5)与所述每个电极(1)以及与所述连接环(3)的连接方式均为整体焊接。
6.根据权利要求1-3或5中任一项所述的加热器,其特征在于,所述多个电极(1)包括六个电极(1),每两个电极(1)为一组形成三组电极(1)。
7.一种蓝宝石晶体生长炉,其特征在于,具有权利要求1-6中任一项所述的加热器。
8.根据权利要求7所述的加热器,其特征在于,所述加热器的多个电极(1)与三相交流电源的输出端相连接。
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