[发明专利]一种整片晶圆纳米压印光刻机

权利要求书

1.一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征是，它包括：压印头(1)、曝光系统(2)、模板(3)、承片台(4)、脱模喷嘴(5)、机架(6)、大理石底座(7)、真空管路(8)和压力管路(9)，其中，所述模板(3)固定于压印头(1)上，承片台(4)置于模板(3)的垂直正下方，并固定在大理石底座(7)上，承片台周边设有脱模喷嘴(5)；曝光系统(2)的紫外光源置于压印头(1)内；真空管路(8)与承片台(4)相连，真空管路(8)和压力管路(9)分别与压印头(1)相连。

2.根据权利要求1所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征是：所述压印头的结构为：包括模板工作台(101)、曝光工作室(102)、法兰盘(103)、滚珠丝杠(104)、联轴器(105)、伺服电机(106)、导向架(107)、导向杆(108)和三个支承调节块(109)，其中，曝光工作室(102)与模板工作台(101)通过螺钉相连，模板工作台(101)内部设有水平管路(10103)和垂直管路(10102)；曝光工作室(102)与滚珠丝杠(104)通过法兰盘(103)相连接，曝光工作室(102)的内顶部(10201)均匀分布安装紫外光源，紫外光源上连接光路通道和控制单元，组成曝光系统(2)；联轴器(105)安装在滚珠丝杠(104)上，伺服电机(106)安装在联轴器(105)上，导向架(107)安装在机架(6)下部，导向杆(108)安装在导向架(107)内部；3个支承调节块(109)置于模板工作台(101)的底部；模板工作台(101)两侧面设有进气孔A(101011)、进气孔B(101012)、进气孔C(101013)；

或所述压印头的结构为：包括模板工作台(101)、曝光工作室(102)、法兰盘(103)、滚珠丝杠(104)、联轴器(105)、伺服电机(106)、支承调节块(109)、滑块(1011)、小支架(1012)、连接件(1013)和导轨(1014)，其中，曝光工作室(102)与模板工作台(101)通过螺钉相连，模板工作台(101)内部设有水平管路(10103)和垂直管路(10102)；曝光工作室(102)与滚珠丝杠(104)通过法兰盘(103)相连接，曝光工作室(102)的内顶部(10201)均匀分布安装紫外光源，紫外光源上连接光路通道和控制单元，组成曝光系统(2)；联轴器(105)安装在滚珠丝杠(104)上，伺服电机(106)安装在联轴器(105)上，滑块(1011)通过滑轨(1014)安装在机架(6)上，小支架(1012)安装在机架(6)和伺服电机(106)之间，连接件(1013)安装在机架(6)和联轴器(105)之间；3个支承调节块(109)置于模板工作台(101)的底部；模板工作台(101)两侧面设有进气孔A(101011)、进气孔B(101012)、进气孔C(101013)；

或：所述压印头的结构为：包括模板工作台(101)、曝光工作室(102)、法兰盘(103)、滚珠丝杠(104)、联轴器(105)、伺服电机(106)、导向杆(108)、支承调节块(109)、滑块(1011)、小支架(1012)和连接件(1013)，其中，曝光工作室(102)与模板工作台(101)通过螺钉相连，模板工作台(101)内部设有水平管路(10103)和垂直管路(10102)；曝光工作室(102)与滚珠丝杠(104)通过法兰盘(103)相连接，曝光工作室(102)的内顶部(10201)均匀分布安装紫外光源，紫外光源上连接光路通道和控制单元，组成曝光系统(2)；联轴器(105)安装在滚珠丝杠(104)上，伺服电机(106)安装在联轴器(105)上，滑块(1011)安装在机架(6)下部，导向杆(108)安装在滑块(1011)内部，小支架(1012)安装在机架(6)和伺服电机(106)之间，连接件(1013)安装在机架(6)和联轴器(105)之间；3个支承调节块(109)置于模板工作台(101)的底部；模板工作台(101)两侧面设有进气孔A(101011)、进气孔B(101012)、进气孔C(101013)。

3.根据权利要求2所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征是：所述压印头(1)中模板工作台(101)的内部管路结构为：包括模板工作台底面(10104)，模板工作台底面(10104)上设有模板工作台凹槽面(10101)和水平管路(10103)，模板工作台凹槽面(10101)上设有垂直管路(10102)，垂直管路(10102)的一端与模板工作台凹槽面(10101)相通，另一端与水平管路(10103)相通。