[发明专利]一种微型拉曼光谱仪

权利要求书

1.一种微型拉曼光谱仪，包括探头光路模块、分光光路模块和电子控制部分，其特征在于：所述探头光路模块为一集成有激光器的准直滤波系统；所述分光光路模块集成有入射狭缝、凹面全息反射光栅和CCD探测器，所述CCD探测器位于凹面全息反射光栅的焦平面上；所述入射狭缝与CCD探测器分别处于分光光路的共轭面上。

2.如权利要求1所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：所述分光光路模块还包括用于折叠光路的反射镜。

3.如权利要求1或2所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：所述分光光路模块还包括一机械模具，入射狭缝、凹面全息反射光栅和CCD探测器固定于机械模具的相应位置。

4.如权利要求1或2所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：所述分光光路模块为一棱镜结构，所述入射狭缝、凹面全息反射光栅和反射镜加工于该棱镜结构上，所述CCD探测器贴于凹面全息反射光栅的焦平面上。

5.如权利要求4所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：所述棱镜结构为一实心棱镜。

6.如权利要求5所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：信号光在所述实心棱镜内多次反射，该实心棱镜对应于凹面全息反射光栅的次级衍射光的反射面处镀增透膜。

7.如权利要求4所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：所述棱镜结构为多片反射镜胶合的中空结构。

8.如权利要求7所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：信号光在所述中空结构内多次反射，该中空结构对应于凹面全息反射光栅的次级衍射光的角度方向上不设置反射镜，或者在该次级衍射光的反射面处镀增透膜。

9.如权利要求1所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：所述准直滤波系统还包括一准直系统、45°二向色镜、长波通滤波片、信号收集透镜和聚焦透镜；所述45°二向色镜反射激光器发射的光，透射其他波长的光；所述激光器发射的光经准直系统准直后照射到45°二向色镜上，由45°二向色镜反射后经信号收集透镜聚焦后照射到待测样品上；激发出的拉曼信号光经信号收集透镜聚焦收集后透过45°二向色镜和长波通滤波片后，经聚焦透镜会聚进入分光光路模块。

10.如权利要求1或9所述的一种微型拉曼光谱仪，其特征在于：所述激光器为TO封装的785nm波长的半导体激光器。