[发明专利]磁悬浮分子泵的转子悬浮中心测定方法

权利要求书

1.一种磁悬浮分子泵的转子悬浮中心测定方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)磁悬浮分子泵控制器控制转子实现静态悬浮，然后启动电机将磁悬浮分子泵转子转速提高到预设转速，所述预设转速大于或者等于100转/秒；

(2) 通过调整转子悬浮位置保证第一径向磁轴承、第二径向磁轴承各磁极线圈电流均衡的方法获取所述转子第一径向悬浮中心和第二径向悬浮中心;

(3) 通过调整转子悬浮位置保证第一轴向磁轴承、第二轴向磁轴承电流均衡的方法获取所述测试转子轴向悬浮中心。

2.根据权利要求1所述的测定方法，其特征在于：所述步骤(2)具体包括：首先，保持磁悬浮分子泵竖直放置，磁悬浮分子泵控制器控制转子实现静态悬浮，启动电机将转子转速提高到预设转速，然后获取第一径向磁轴承各个磁极线圈中的电流；比对所述第一径向磁轴承相对方向的两个磁极线圈中的电流幅值是否相等，如相等，则获得所述转子第一径向悬浮中心；否则，磁悬浮分子泵控制器控制电机停机，继续调整所述测试转子的悬浮位置，然后重复上述步骤，直到所述第一径向磁轴承各相对方向的两个磁极线圈电流均相等为止；用与获取转子第一径向悬浮中心相同的方法获取转子第二径向悬浮中心。

3.根据权利要求2所述的测定方法，其特征在于：所述径向磁轴承各个磁极线圈中的电流经由低通滤波电路滤波后输出。

4.根据权利要求3所述的测定方法，其特征在于: 所述径向磁轴承相对方向两个磁极线圈中的电流幅值相等是指所述径向磁轴承相对方向两个磁极线圈中的电流幅值之差与径向磁轴承偏置电流幅值之比小于或者等于5%。

5.根据权利要求4所述的测定方法，其特征在于：所述步骤(3)中，具体包括以下步骤：首先，保持磁悬浮分子泵水平安装，磁悬浮分子泵控制器控制转子实现静态悬浮，启动电机将转子转速提高到预设转速，然后获取第一轴向磁轴承、第二轴向磁轴承线圈中的电流；然后，比对所述两个轴向磁轴承线圈中的电流幅值是否相等，如相等，则获得所述转子轴向悬浮中心，否则，磁悬浮分子泵控制器控制电机停机，继续调整所述测试转子的悬浮位置，然后重复上述步骤，直到所述两个轴向磁轴承线圈中的电流幅值相等为止。

6.根据权利要求5所述的测定方法，其特征在于：所述轴向磁轴承各个磁极线圈中的电流经由低通滤波电路滤波后输出。

7.根据权利要求6所述的测定方法，其特征在于：所述两个轴向磁轴承线圈中的电流幅值相等是指所述两个轴向磁轴承线圈中的电流幅值之差与轴向磁轴承偏置电流幅值之比小于或者等于5%。

8.根据权利要求1-7任一所述的测定方法，其特征在于：还包括将获取的所述转子悬浮中心的位置信息存储到所述磁悬浮分子泵内存储介质的步骤。