[发明专利]一种线列式有机金属化合物气相淀积系统及方法

权利要求书

1.一种线列式有机金属化合物气相淀积系统，包括用于传输玻璃基板的传输系统和以该传输系统为基座依次分布和连接的装载台、预处理单元、反应单元、后处理单元和卸载台，其特征在于还包括设于装载台和预处理单元之间的装载缓冲台、设于后处理单元与卸载台之间的卸载缓冲台；同时，在预处理单元、反应单元和后处理单元的传输系统上设有至少两套传输子系统。

2.根据权利要求1所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述预处理单元、反应单元和后处理单元的传输子系统为滚轮传输系统。

3.根据权利要求1或2所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述装载台、装载缓冲台、预处理单元、反应单元、后处理单元、卸载缓冲台和卸载台的传输系统分别设有传感单元以及分别与传输系统、传感单元连接的控制单元。

4.根据权利要求3所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述传感单元的位置对应于玻璃基板待命位置的前端和/或后端。

5.根据权利要求3所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述控制单元包含传输电机控制模块和传感单元控制模块。

6.根据权利要求3所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述预处理单元、反应单元、后处理单元的每套滚轮传输系统均设置传感单元。

7.根据权利要求3所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述预处理单元、反应单元和后处理单元的底部或侧壁设有孔，传感单元通过连接件分别对应固定设置在该孔内；装载台、装载缓冲台、卸载缓冲台和卸载台的两侧分别设有支架，传感单元通过连接件分别对应固定设置在该支架上。

8.根据权利要求1所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述玻璃基板的大小规格介于600×1200mm与3300×6000mm之间。

9.根据权利要求8所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述玻璃基板的大小规格为635mm×1245 mm。

10.一种线列式有机金属化合物气相淀积方法，玻璃基板置于装载台上，传输系统收到玻璃就位信号，带动玻璃基板向装载缓冲台运动，当玻璃基板被装载缓冲台检测到后，传输系统带动玻璃基板到达装载缓冲台停止位置；在先一片玻璃基板到达装载缓冲台停止位置后，将在后一片玻璃基板置于装载台上，此时预处理单元门阀打开，两片或多片玻璃分别启动依次传输至预处理单元内；在先一片玻璃经过预处理单元在先一套传输系统时不停止，直至到在后一套传输系统停止位置上才停止，而在后一片玻璃则在预处理单元在先一套传输系统停止位置上停止；当两片或多片玻璃都到达停止位置，传感器触发，加热功能开启，两套或多套滚轮传输系统开始前后旋转，使得玻璃进行往复运动；之后以与进入预处理单元相同的传输方式进入反应单元进行气相沉积反应，再以与进入预处理单元相同的传输方式进入后处理单元冷却，然后依次通过滚轮传输系统传出，在先一片玻璃经过卸载缓冲台时不停止，直至卸载台停止位置停止，在后一片玻璃在卸载缓冲台停止，直到在先一片玻璃基板被取走后，才传输到卸载台停止位置上取走。