[发明专利]低温泵及过滤器装置

说明书

技术领域

本申请主张基于2010年9月13日申请的日本专利申请第2010-204874号的优先权。其申请的全部内容通过参考援用于此说明书中。

本发明涉及低温泵、及用于在低温泵中使用的过滤器装置。

背景技术

例如专利文献1中记载有具备排出用过滤器的低温泵。过滤管塔组装于低温泵的溢流管内。溢流管与排出管连接成T字，其排出管连接于形成真空腔的外壳。在溢流管的终端安装溢流阀。过滤管塔从溢流流道内的安装位置延长伸出至排出流道。过滤管塔具有配置于排出流道内的开口边缘。

专利文献1：日本特表2002-501146号公报

上述低温泵的过滤管塔为中空圆锥形过滤网，且开有粒子堵塞时用于使气体流通的开口。因此，若不使过滤管塔延长伸出且使开口边缘充分靠近排出流道而减少流入开口的粒子，则不能充分地捕获向溢流阀漏流及在开口中漏流的粒子。还需要用于使过滤管塔延长伸出至排出流道的T字管。由此，在过滤器的结构或配置，进而在其安装结构设计上的自由度较小。

发明内容

本发明的目的之一为提供一种适合安装于用于从低温泵排出流体的路径的过滤结构及具有其过滤结构的低温泵。

本发明的一种方式的低温泵，具备：低温泵容器，从外部环境划定低温泵内部空间；排出管道，连接于所述低温泵容器，用于从所述低温泵内部空间向外部环境排出流体；以及过滤结构，所述过滤结构具备：过滤器，用于从在所述排出管道中排出的流体中去除异物；及过滤器安装部件，用于将该过滤器安装于所述排出管道；并且所述过滤结构用于使该过滤器迂回的旁通流道的至少一部分形成于所述过滤器安装部件。

根据该方式，安装于排出管道的过滤结构具有用于使过滤器迂回的旁通流道。因此，通常通过过滤器排出流体，在过滤器发生网眼堵塞时能够通过旁通流道释放内压。由此，能够抑制低温泵内部的难以预料的内压上升，且能够提高低温泵的安全性。并且，通过过滤器安装部件安装过滤器，由此还可提高安装位置或其方式的柔软性。通过在过滤器安装部件形成旁通流道的至少一部分，还能够将旁通流道有效地收纳于排出管道内部的有限空间内。

所述过滤器也可以具有在所述排出管道的流动方向的下游侧具有底部且上游侧被开放的有底形状，在该有底形状的内部形成有过滤器内部空间。所述过滤器安装部件也可以包含向所述过滤器内部空间引导流动的导管。该导管的末端可以向所述过滤器内部空间突出，该导管的末端与所述过滤器的开放端的间隙形成所述旁通流道的入口。这样，能够在旁通流道的入口生成与向过滤器内部空间的通常的流动相反方向的流动。由此，当过滤器有效地发挥作用时，能够抑制进入旁通流道的流动，或使其最小化。

所述过滤结构可以具备双重管结构，所述双重管结构具有使朝向所述过滤器的排出流的流道面积变窄的内管、和形成于该内管的外侧的外管，所述旁通流道可以将所述内管连接于所述外管。通过旁通流道从双重管结构的内管向外管引导流动，能够使向过滤器外侧的流动迂回。由此，未必一定要将用于旁通的开口直接设置于过滤器。并且，通过采用具有朝向过滤器使流道面积变窄的内管的结构，无需为了设置过滤器而更换成大径的排出管道，在原有的排出管道可轻松地设置过滤结构。

所述过滤器及所述过滤器安装部件可以被容纳于所述排出管道，且在流动方向上相互邻接。所述旁通流道也可以包含用于使流体流向所述排出管道的截面的面内方向的主旁通路。该主旁通路可以形成于所述过滤器安装部件。通过在流动方向上错开配置过滤器与过滤器安装部件，能够加大排出管道截面中的过滤器面的占有率。通过将面内方向的主旁通路形成于过滤器安装部件，也可以使主旁通路变得较宽。

所述旁通流道可以具备入口部分、宽于该入口部分的中间部分、和窄于该中间部分的出口部分。通过将入口部分设为相对较窄，当过滤器有效地发挥作用时能够抑制进入旁通流道的流动。通过将中间部分相对加宽，能够扩大旁通流道的有效的开口面积。通过将出口部分设为较窄，例如能够将旁通流道有效地收纳于排出管道内的有限空间内。

所述旁通流道可以包含第1间隙和第2间隙，所述第1间隙用于使流体流向所述排出管道的流动方向相反的方向，所述第2间隙用于使通过第1间隙的流体向所述过滤器的下游合流。通过间隙能够加宽流过过滤器的通常流道。

所述过滤结构可以具备夹紧型联轴器的定心环。这样，能够在真空装置的配管中典型的夹紧型联轴器轻松地应用过滤结构。过滤结构的更换或维护也变得轻松。