[发明专利]蓝光DVD、CD光学读取头的反射镜膜系及其制备方法

权利要求书

1.一种蓝光DVD、CD光学读取头的反射镜膜系，其特征在于，所述反射镜膜系单面镀覆于反射镜的基底上，所述反射镜膜系由25层膜构成，其中，与基底相接触的膜为第一层膜，所述反射镜膜系的奇数层膜为SiO₂膜，偶数层膜为TiO₂膜，所述反射镜膜系各层的光学厚度为：

第一层膜：137nm;           第二层膜为：66nm;

第三层膜：127nm;           第四层膜为：88nm;

第五层膜：157nm;           第六层膜为：71nm;

第七层膜：120nm;           第八层膜为：111nm;

第九层膜：134nm;           第十层膜为：72nm;

第十一层膜：130nm;         第十二层膜为：112nm;

第十三层膜：70nm;          第十四层膜为：116nm;

第十五层膜：184nm;         第十六层膜为：93nm;

第十七层膜：75nm;          第十八层膜为：129nm;

第十九层膜：62nm;          第二十层膜为：76nm;

第二十一层膜：181nm;       第二十二层膜为：109nm;

第二十三层膜：98nm;       第二十四层膜为：45nm;

第二十五层膜：144nm。

2.根据权利要求1所述的反射镜膜系，其特征在于，所述反射镜的基底的一面镀有减反膜，另一面镀覆有所述反射镜膜系。

3.根据权利要求1所述的反射镜膜系，其特征在于，所述反射镜的基底为B270。

4.权利要求1~3任一项所述的反射镜膜系的制备方法，其特征在于，所述膜系的各层膜通过真空蒸镀单面镀覆在所述反射镜的基底上。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）清洗基底，并在所述基底的一面镀覆减反膜；

2）计算所述反射镜膜系各层膜的物理厚度；

3）将步骤1）所得的基底放入高真空镀膜设备中，抽真空，加热基底至280~300℃，保温，启动离子源设备清洗基底；

4）以电子束蒸发源蒸镀，使所述反射镜膜系的各层膜以物理厚度依次镀覆于所述反射镜基底的另一面上。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤4）所述电子束蒸发源蒸镀SiO₂膜时，真空度为3×10^-3 Pa，沉积速率为0.7nm/s；所述电子束蒸发源蒸镀TiO₂膜时，真空度为2×10^-2Pa，沉积速率为0.3nm/s。