[发明专利]一种PECVD承载盘传动轴密封装置无效
| 申请号： | 201110270474.4 | 申请日： | 2011-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN102996796A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/16 | 分类号： | F16J15/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 承载 传动轴 密封 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种PECVD承载盘传动轴密封装置，其特徵在于设置的腔壁鸠尾槽内坎O型密封圈以及传动轴外罩和外盖。
2.根据权利要求1所述之传动轴外罩，其特徵在传动轴外罩与外盖接触面设有鸠尾槽内坎O型密封圈，同时下方开有DN40抽气口连接真空帮浦。
3.根据权利要求1所述之外盖，其特徵在于铝合金制表面精密抛光处理。
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