[发明专利]用于液晶显示器制造工艺的包含伯烷烃醇胺的光刻胶剥离组合物有效
申请号: | 201110271127.3 | 申请日: | 2011-09-14 |
公开(公告)号: | CN102486620A | 公开(公告)日: | 2012-06-06 |
发明(设计)人: | 崔好星;全汶教;裵钟一;李钟淳;梁惠星 | 申请(专利权)人: | LTC有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人: | 张颖玲;孟桂超 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 液晶显示器 制造 工艺 包含 烷烃 光刻 剥离 组合 | ||
1.一种用于液晶显示器(LCD)制造工艺的光刻胶剥离组合物,其特征在于,该组合物包含:
(a)1-20重量%的伯烷烃醇胺;
(b)10-60重量%的醇;
(c)0.1-50重量%的水;
(d)5-50重量%的极性有机溶剂;以及
(e)0.01-3重量%的阻蚀剂。
2.根据权利要求1所述的光刻胶剥离组合物,其特征在于,所述伯烷烃醇胺包括选自单乙醇胺、单异丙醇胺、2-氨基-2-甲基-1-丙醇、2-甲氨基乙醇和3-氨基丙醇胺所组成的组中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的光刻胶剥离组合物,其特征在于,所述醇包括选自乙二醇、1-己醇、辛醇、1-庚醇、1-癸醇、2-庚醇和四氢糠醇所组成的组中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的光刻胶剥离组合物,其特征在于,所述阻蚀剂包括C5-C10杂环,该C5-C10杂环含有选自N、O和S所组成的组中的至少一种杂原子,且该杂环的碳原子被巯基取代。
5.根据权利要求4所述的光刻胶剥离组合物,其特征在于,所述杂环包括咪唑。
6.根据权利要求1所述的光刻胶剥离组合物,其特征在于,所述阻蚀剂包括选自2-巯基苯并咪唑、2,5-二巯基-1,3,4-噻二唑和2-巯基苯并噻唑所组成的组中的至少一种。
7.根据权利要求1所述的光刻胶剥离组合物,其特征在于,所述极性有机溶剂含有结构式为R-O(CH2CH2O)H的二醇,其中R是直链烃、支链烃和环烃中的任何一种。
8.根据权利要求1所述的光刻胶剥离组合物,其特征在于,所述极性有机溶剂包括选自N-甲基吡咯烷酮(NMP)、环丁砜、二甲基亚砜(DMSO)、二甲基乙酰胺(DMAC)和单甲基甲酰胺所组成的组中的至少一种。
9.一种用于液晶显示器(LCD)制造工艺的光刻胶剥离组合物,其特征在于,该组合物包括:
(a)1-20重量%的伯烷烃醇胺;
(b)10-60重量%的醇;以及
(c)5-70重量%的极性有机溶剂。
10.根据权利要求9所述的光刻胶剥离组合物,其特征在于,所述伯烷烃醇胺包括2-氨基-2-甲基-1-丙醇。
11.根据权利要求9所述的光刻胶剥离组合物,其特征在于,所述醇包括选自乙二醇、1-己醇、辛醇、1-庚醇、1-癸醇、2-庚醇和四氢糠醇所组成的组中的至少一种。
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