[发明专利]微波照射装置以及微波照射方法

权利要求书

1.一种微波照射装置，其特征在于，包括：

收纳被处理体的腔室；

通过被供给电压而产生微波，将该微波照射在所述腔室内的被处理体的多个磁控管；以及

向所述多个磁控管供给脉冲状电压的电源部，其中，

所述电源部按照被分别供给至所述多个磁控管的脉冲状电压的电压脉冲彼此在时间上不重叠的方式供给电压。

2.如权利要求1所述的微波照射装置，其特征在于：

所述电源部按照向所述多个磁控管依次供给电压脉冲的方式供给所述脉冲状电压。

3.如权利要求1或2所述的微波照射装置，其特征在于：

所述电源部控制电压波形，使得所述电压脉冲的电压值在时间上连续变化。

4.如权利要求3所述的微波照射装置，其特征在于：

所述电源部控制电压波形，使得所述电压脉冲形成全波整流波形。

5.如权利要求3所述的微波照射装置，其特征在于：

所述电源部控制电压波形，使得所述电压脉冲变成模拟正弦曲线。

6.如权利要求3所述的微波照射装置，其特征在于：

所述电源部控制电压波形，使得所述电压脉冲变成三角波、梯形波、锯齿形波中的任意一种。

7.如权利要求3所述的微波照射装置，其特征在于：

所述电源部控制电压波形，使得所述电压脉冲在比所述多个磁控管的振荡电压低的电压部分急剧地上升和下降，在振荡电压以上的部分成为预期的波形。

8.如权利要求1或2中任意一项所述的微波照射装置，其特征在于，所述电源部具有：

将交流电流转换成直流的交流/直流转换部；

开关电路，具有多个开关晶体管，输入所述被转换的直流电压，在所述各个开关晶体管中产生导通·关闭循环，通过这些各个开关晶体管的组合来输出规定的脉冲状电压；

对所述开关电路进行控制的开关控制部；和

将规定的脉冲状电压从所述开关电路向两个磁控管交替引导的电压供给电路。

9.如权利要求1或2中任意一项所述的微波照射装置，其特征在于，所述电源部具有：

将交流电流转换成直流的交流/直流转换部；

第一及第二开关电路，分别具有多个开关晶体管，输入所述被转换的直流电压，在所述各个开关晶体管中产生导通·关闭循环，通过这些各个开关晶体管的组合来输出规定的脉冲状电压；

控制所述第一及第二开关电路的开关控制部；

将规定波形的脉冲状电压从所述第一开关电路向第一及第二磁控管交替引导的第一电压供给电路；和

将规定的脉冲状电压从所述第二开关电路向第三及第四磁控管交替引导的第二电压供给电路。

10.如权利要求9所述的微波照射装置，其特征在于：

对电压供给进行控制，使得：首先，通过所述第一开关电路的一部分的开关晶体管，从所述第一电压供给电路向所述第一磁控管供给电压，接着，通过所述第二开关电路的一部分的开关晶体管，从所述第二电压供给电路向所述第三磁控管供给电压，接着，通过所述第一开关电路的其他一部分的开关晶体管，从所述第一电压供给电路向所述第二磁控管供给电压，接着，通过所述第二开关电路的其他一部分的开关晶体管，从所述第二电压供给电路向所述第四磁控管供给电压。

11.一种微波照射方法，其特征在于：

将通过向多个磁控管供给脉冲状电压而产生的微波向腔室内的被处理体照射，

以被分别供给至所述多个磁控管的脉冲状电压的电压脉冲彼此在时间上不重叠的方式供给电压。

12.如权利要求11所述的微波照射方法，其特征在于：

以向所述多个磁控管依次供给电压脉冲的方式供给所述脉冲状电压。

13.如权利要求11或权利要求12所述的微波照射方法，其特征在于：

控制电压波形，使得所述电压脉冲的电压值在时间上连续地变化。

14.如权利要求13所述的微波照射方法，其特征在于：

控制电压波形，使得所述电压脉冲形成全波整流波形。