[发明专利]用于掩模对准的对准信号采集系统及对准方法

权利要求书

1.一种用于掩模对准的对准信号采集系统，用以实现工件台相对于掩模台位置的确定，其特征在于，包括：

照明单元，用于提供一激光脉冲；

掩模台单元，所述掩模台单元包括：掩模台、掩模台位置测量模块及掩模台控制模块，所述掩模台控制模块根据所述掩模台位置测量模块所获得的掩模台位置数据移动位于所述掩模台上的掩模标记；

投影物镜，用以对所述掩模标记成像；

工件台单元，所述工件台单元包括：工件台、工件台位置测量模块及工件台控制模块，所述工件台控制模块根据所述工件台位置测量模块所获得的工件台位置数据移动位于所述工件台上的工件标记，并根据对准扫描参数进行水平及垂向运动；

光强采集单元，用于采集所述掩模标记的像扫描过所述工件台标记时形成的二维空间像的光强信号；

对准操作单元，用于接收并处理来自所述掩模台单元、工件台单元及光强采集单元的信息以获得一对准位置；所述对准操作单元处理所述信息采用以下对准信号拟合模型：

F(x,z)=A·f(z)·e[f(z)·x-x0AIX]2]]>

f(z)=[1+|z-z0AIZ|3]-13,]]>其中A是光强最大值，x0是水平向对准位置，z0是垂向对准位置，F是所述二维空间像的光强信号，AIX是所述二维空间像的像宽，AIZ是所述二维空间像的像高，x是水平向位置，z是垂向位置。

2.如权利要求1所述的对准信号采集系统，其特征在于，所述光强采集单元包括集成传感器和光强采集板。

3.如权利要求2所述的对准信号采集系统，其特征在于，所述集成传感器受所述激光脉冲激发后产生可见波长段的荧光。

4.如权利要求3所述的对准信号采集系统，其特征在于，所述集成传感器包括光电探测器和放大环节，所述荧光经光电探测器转化为一电信号，所述电信号经所述放大环节进行放大。

5.如权利要求3所述的对准信号采集系统，其特征在于，所述光强采集板根据所述对准操作单元的时序控制，采集所述集成传感器探测到的光强信号。