[发明专利]实现半导体激光光束匀化的微光学元件无效
| 申请号： | 201110272797.7 | 申请日： | 2011-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN102305969A | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 刘华;卢振武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 王淑秋 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 实现 半导体 激光 光束 微光 元件 | ||
1.一种实现半导体激光光束匀化的微光学元件，其特征在于由多个密接排列的微结构单体构成；所述的微结构单体包括一前表面(31)，一后表面(32)；微结构单体的前表面(31)为球面；多个微结构单体的球形前表面连续排列构成微光学元件的入射面，多个微结构单体的后表面连续排列构成微光学元件的出射面；微结构元件的入射面将整形后的半导体激光光束分割为多个子光束，各子光束在微结构单体内聚焦形成一系列点光源像；点光源像发出的光束经微结构单体后表面出射；各微结构单体后表面出射的发散光叠加到照明面上。
2.根据权利要求1所述的实现半导体激光光束匀化的微光学元件，其特征在于所述的微光学元件各微结构单体呈方形密接排列。
3.根据权利要求1所述的实现半导体激光光束匀化的微光学元件，其特征在于所述的微光学元件各微结构单体呈六方形密接排列。
4.根据权利要求1所述的实现半导体激光光束匀化的微光学元件，其特征在于所述微光学元件一维方向上微结构单体的数量N大于15。
5.根据权利要求1所述的实现半导体激光光束匀化的微光学元件，其特征在于所述各微结构单体前表面(31)和后表面(32)为曲率半径等于r的球形表面，微结构单体的厚度为t：
其中n为微光学元件材料的折射率，d为微光学元件一维方向上微结构单体的尺寸，NAi为每个微结构单体的像方数值孔径，NAi＝tan(θ)，NAo为每个微结构单体入射方的数值孔径，NAo＝tan(θ/N)，θ为半导体激光光束经过光学整形元件以后光束的出射半角度。
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