[发明专利]一种无开裂锆钛酸铅镧薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种无开裂锆钛酸铅镧薄膜的制备方法，其特征在于该制备方法包括以下步骤：

1）. 取三水合乙酸铅，乙酸镧，修饰剂丙烯酸加入溶剂甲醇中混合，在磁力搅拌器上40℃-60℃恒温搅拌至所得第一种溶胶均匀；

2）. 取钛酸四丁酯，乙酰丙酮，加入溶剂甲醇中混合，在磁力搅拌器上40℃-60℃恒温搅拌至所得第二种溶胶均匀；

3）. 取五水合硝酸锆，加入溶剂甲醇中混合、搅拌，直至五水合硝酸锆全部溶解之后，再加入乙酰丙酮，在磁力搅拌器上40℃-60℃下恒温搅拌至所得第三种溶胶均匀；

4）. 将步骤1）、2）所得第一种溶胶和所得第二种溶胶溶液混合，40℃-60℃下恒温搅拌至所得第一种混合溶胶均匀；

5）. 将步骤3）、4）所得的溶胶冷却至室温，加入乙醇胺，调节PH值至第二种混合溶胶变澄清；再将第二种混合溶胶置于磁力搅拌器上搅拌至均匀；

6）.将步骤5）最终所得的第二种混合溶胶样品过滤后，加入曲拉通x-100，并进行超声，然后在磁力搅拌器上匀速搅拌至此第二种混合溶胶样品均匀；

7）. 步骤6）所得的第二种混合溶胶样品制备完成后，采用旋转涂覆法在洁净的基片上制备PLZT湿膜，制得湿膜之后进行第一次热处理，处理温度为100℃-150℃之间，时间为5-30分钟；

8）. 将步骤7）所得的产品置于坩埚内，直接采用650℃-900 ℃的高温持续烘烤样品半小时以上，再自然冷却到室温，得到无开裂锆钛酸铅镧薄膜。

2.根据权利要求1所述的无开裂锆钛酸铅镧薄膜的制备方法，其特征在于步骤1）中三水合乙酸铅、乙酸镧、甲醇的摩尔比为91:(8-11)：12350,丙烯酸的加入量重量为1%-2%。

3.根据权利要求1所述的无开裂锆钛酸铅镧薄膜的制备方法，其特征在于步骤2）中钛酸四丁酯、甲醇的摩尔比为35:12350，乙酰丙酮的加入重量为2%-3%。

4.根据权利要求1所述的无开裂锆钛酸铅镧薄膜的制备方法，其特征在于步骤3）中五水合硝酸锆、甲醇的摩尔比为65:12350，乙酰丙酮的加入重量为2%-3%。

5.根据权利要求1所述的无开裂锆钛酸铅镧薄膜的制备方法，其特征在于步骤5）中乙醇胺的加入重量为1%-3%。

6.根据权利要求1所述的无开裂锆钛酸铅镧薄膜的制备方法，其特征在于步骤6）中曲拉通x-100的加入重量为0.5%-2.0%。