[发明专利]用于生产细硅棒的方法

权利要求书

1.一种用于生产细硅棒(1)的方法，包括以下步骤：

a)提供多晶硅棒，从所述多晶硅棒分离至少两个细棒(11、12)，所述细棒与所述多晶硅棒相比具有减小的横截面；

b)通过用材料腐蚀性液体介质处理，清洗经分离的所述至少两个细棒(11、12)；

c)焊接经清洗的所述至少两个细棒(11、12)以形成较长的细棒(1)；

d)将所述较长的细棒(1)包装在管状膜(100)中。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在焊接所述至少两个细棒(11、12)以形成较长的细棒(1)之后且在包装所述较长的细棒(1)之前，进行第二清洗，在所述第二清洗中，用材料腐蚀性液体介质处理所述较长的细棒(1)。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，根据步骤b)以及在对所述较长的细棒(1)的所述第二清洗中，用于处理所述细棒(11、12)的液体介质包含HF和HNO₃。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其中，在根据步骤b)清洗之后，进行所述细棒(11、12)的亲水化，且在所述第二清洗后，通过臭氧进行所述较长的细棒(1)的亲水化。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的方法，其中，在用材料腐蚀性液体介质处理所述较长的细棒(1)中，材料腐蚀小于10μm。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，在根据步骤b)通过用材料腐蚀性液体介质处理所述细棒(11、12)的清洗中，材料腐蚀分别为至少10μm。

7.根据权利要求2至6中任一项所述的方法，其中，对所述较长的细棒(1)的所述第二清洗在包含材料腐蚀性液体介质的槽(5)中进行，所述槽(5)在两个端面上分别具有开口(51)和(52)，所述较长的细棒(1)逐渐通过所述开口以对其进行清洗，沿着所述较长的细棒(1)通过所述开口(51)和(52)流出的材料腐蚀性液体介质收集在布置于所述槽(5)下方的收集槽(7)中，并泵回到所述槽(5)中。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，在所述较长的细棒(1)通过所述槽(5)且在干燥所述较长的细棒(1)之后，将其引入膜管(100)中进行包装。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其中，焊接经分离的所述至少两个细棒(11、12)以形成较长的细棒(1)，在惰性气氛中通过感应焊接进行。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，布置在石英封装的碳管(4)上方的感应线圈(3)分别加热所述细棒(11)和(12)的一端至高于硅的熔融温度，由此形成硅液滴，并且在几分钟后关闭所述感应线圈(3)，所述细棒(11)和(12)熔合形成所述较长的细棒(1)。