[发明专利]一种空间光调制器中心与相机中心空间位置的标定方法

权利要求书

1.一种无掩膜光刻系统的空间光调制器中心与相机中心空间相对位置的标定方法，包括投影模块，投影模块包含曝光光源、空间光调制器、安装于移动平台上的基底，曝光光源、空间光调制器之间安装有光学集光系统；电机控制移动平台三维移动，其特征在于：空间光调制器与基底之间设有倾斜的分束器与透镜，分束器的反射光进入成像模块中的CCD相机，CCD相机外接人工智能模块和计算机；

标定方法包括以下步骤：

1）曝光光源发出的光经过光学集光系统，将定位标记图形投影至空间光调制器上，使得定位标记的中心与空间光调制器中心重合，经空间光调制器反射后，经过分束器及透镜，投影至基底表面成像；

2）投射基底上的反射光经过所述分束器反射后，被CCD相机接收，并由CCD相机实时采集基底上定位标记图形的信息传输至计算机；

3）计算机所采集的定位标记图形，以相机的坐标系为基准，利用人工智能模块计算定位标记中心与相机中心的偏差△x，△y；

4）通过移动移动平台或改变空间上光分布的振幅、强度、相位的方法来补偿空间光调制器中心与相机中心的位置偏差，使得CCD相机接收到的定位标记中心与相机中心重合。

2.根据权利要求1所述的一种无掩膜光刻系统的空间光调制器中心与相机中心空间相对位置的标定方法，其特征在于：所述计算机的反馈系统连接有控制器，所述控制器分别与空间光调制器、曝光光源、电机连接。